Nettmeny

Produktsøk

Språk

Produkter

Tantalkarbidbelegg

VeTek semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbeleggmaterialer for halvlederindustrien. Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD-tantalkarbidbeleggdeler, sintrede TaC-beleggsdeler for SiC-krystallvekst eller halvlederepitaksiprosess. Bestått ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontroll på kvalitet. VeTek Semiconductor er dedikert til å bli innovatør i tantalkarbidbeleggindustrien gjennom pågående forskning og utvikling av iterative teknologier.


Hovedproduktene erTaC-belagt styrering, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblad, Tantalkarbid TaC-belagt halvmåne, CVD TaC-belegg planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalkarbidbeleggring, Tantalkarbidbelagt porøs grafitt, TaC Coating Rotasjons Susceptor, Tantalkarbidring, TaC belegg rotasjonsplate, TaC-belagt wafer-susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC beleggdeksel, TaC-belagt Chucketc., renheten er under 5 ppm, kan møte kundens krav.


TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD). Fordelen er vist på bildet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalkarbidbelegget (TaC) har fått oppmerksomhet på grunn av dets høye smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termiske støt, noe som gjør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiske prosesser med høyere temperaturkrav, slik som Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiprosess. Den har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen.


Nøkkelfunksjoner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høy renhet

 ●Motstand mot H2, NH3, SiH4,Si

 ●Motstand mot termisk lager

 ●Sterk vedheft til grafitt

 ●Konform beleggdekning

 ● Størrelse opptil 750 mm diameter (den eneste produsenten i Kina når denne størrelsen)


Søknader:

 ●Waferbærer

 ● Induktiv varmemottaker

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellitt disk

 ●Dusjhode

 ●Føringsring

 ●LED Epi-mottaker

 ●Injeksjonsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalkarbid (TaC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalkarbidbelegg:

Fysiske egenskaper til TaC-belegg
Tetthet 14,3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet 0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient 6,3 10-6/K
Hardhet (HK) 2000 HK
Motstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafittstørrelsen endres -10~-20um
Beleggtykkelse ≥20um typisk verdi (35um±10um)


TaC-belegg EDX-data：

EDX data of TaC coating


TaC belegg krystallstruktur data:

Element Atomprosent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gjennomsnittlig
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
CVD TaC-belagt grafittring

CVD TaC-belagt grafittring

Den CVD TaC-belagte grafittringen av Veteksemicon er konstruert for å møte de ekstreme kravene til prosessering av halvlederwafer. Ved å bruke Chemical Vapor Deposition (CVD)-teknologi, påføres et tett og jevnt tantalkarbid (TaC)-belegg på grafittunderlag med høy renhet, og oppnår eksepsjonell hardhet, slitestyrke og kjemisk treghet. I halvlederproduksjon er den CVD TaC-belagte grafittringen mye brukt i MOCVD, etsing, diffusjon og epitaksiale vekstkamre, og fungerer som en viktig strukturell eller tetningskomponent for waferbærere, susceptorer og skjermingsenheter. Ser frem til din videre konsultasjon.
Se mer >> Send forespørsel >>
Porøs TaC-belagt grafittring

Porøs TaC-belagt grafittring

Den porøse TaC-belagte grafittringen produsert av VETEK bruker et lett porøst grafittsubstrat og er belagt med et høyrent tantalkarbidbelegg, med utmerket motstand mot høye temperaturer, korrosive gasser og plasmaerosjon
Se mer >> Send forespørsel >>
TAC -belagt grafittguide ring

TAC -belagt grafittguide ring

Våre TAC-belagte grafittguide-ringer er presisjonskjernekomponenter for produksjon av halvleder wafer. De har et grafittunderlag med høy renhet belagt med et slitasjebestandig og kjemisk inert tantalkarbid (TAC) belegg. De er designet for krevende prosesser som epitaksial avsetning og plasma -etsing, og sikrer presis skiveinnretting og stabilitet, effektivt kontrollerer forurensning og forlenger levetiden betydelig. Veteksemicon tilbyr tilpasningstjenester for å samsvare med utstyret og prosesskravene dine perfekt.
Se mer >> Send forespørsel >>
TAC -belagt ring for PVT -vekst av SiC enkeltkrystall

TAC -belagt ring for PVT -vekst av SiC enkeltkrystall

Som en av de ledende TAC-beleggproduktleverandørene i Kina, er Vetek Semiconductor i stand til å gi kundene TAC-belegg av høy kvalitet. TAC -belagt ring for PVT -vekst av SIC -enkeltkrystall er en av Vetek Semiconductors mest fremragende og modne produkter. Det spiller en viktig rolle i PVT-veksten av SIC-krystallprosess og kan hjelpe kundene til å dyrke SIC-krystaller av høy kvalitet. Ser frem til din henvendelse.
Se mer >> Send forespørsel >>
CVD TAC belagt tre-petal guide ring

CVD TAC belagt tre-petal guide ring

Vetek Semiconductor har opplevd mange års teknologisk utvikling og har mestret den ledende prosessteknologien til CVD TAC -belegg. CVD TAC-belagt tre-petal guide ring er en av Vetek Semiconductors mest modne CVD TAC-beleggprodukter og er en viktig komponent for å fremstille SIC-krystaller ved PVT-metode. Ved hjelp av Vetek Semiconductor tror jeg at din SIC -krystallproduksjon vil være jevnere og mer effektiv.
Se mer >> Send forespørsel >>
Tantal karbidbeleggingsring

Tantal karbidbeleggingsring

Vetek Semiconductor tantal karbidbeleggingsring er en uunnværlig komponent i halvlederindustrien, spesielt i etsing av SIC -skiver. Kombinasjonen av en grafittbase og TAC-belegg sikrer overlegen ytelse i høye temperaturer og kjemisk aggressive miljøer. Med sin forbedrede termiske stabilitet, korrosjonsmotstand og mekanisk styrke, hjelper Tantal-karbidbelagt ring halvlederprodusenter med å oppnå presisjon, pålitelighet og høykvalitets resultater i deres produksjonsprosesser.
Se mer >> Send forespørsel >>
Som profesjonell Tantalkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å imøtekomme de spesifikke behovene i regionen din eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Tantalkarbidbelegg laget i Kina, kan du gi oss en melding.
Nyhetsanbefalinger
Hvordan løse problemet med sintringssprekker i silisiumkarbidkeramikk? - VeTek halvleder
Hvordan løse problemet med sintringssprekker i silisiumkarbidkeramikk? - VeTek halvlederSe mer >>
Rull opp! To store produsenter er i ferd med å masseprodusere 8-tommers silisiumkarbid
Rull opp! To store produsenter er i ferd med å masseprodusere 8-tommers silisiumkarbidSe mer >>
Hva er temperaturgradienten til det termiske feltet til en enkelt krystallovn?
Hva er temperaturgradienten til det termiske feltet til en enkelt krystallovn?Se mer >>
Velkommen kunder til å besøke Veteksemicons karbonfiberproduktfabrikk
Velkommen kunder til å besøke Veteksemicons karbonfiberproduktfabrikkSe mer >>
Hva er en kvartsbåt?
Hva er en kvartsbåt?Se mer >>
Hva er Tantalum Carbide TAC -belegg? - Veteksemicon
Hva er Tantalum Carbide TAC -belegg? - VeteksemiconSe mer >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept