Nettmeny

Produktsøk

Språk

Produkter

Tantalkarbidbelegg

VeTek semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbeleggmaterialer for halvlederindustrien. Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD-tantalkarbidbeleggdeler, sintrede TaC-beleggsdeler for SiC-krystallvekst eller halvlederepitaksiprosess. Bestått ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontroll på kvalitet. VeTek Semiconductor er dedikert til å bli innovatør i tantalkarbidbeleggindustrien gjennom pågående forskning og utvikling av iterative teknologier.


Hovedproduktene erTaC-belagt styrering, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblad, Tantalkarbid TaC-belagt halvmåne, CVD TaC-belegg planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalkarbidbeleggring, Tantalkarbidbelagt porøs grafitt, TaC Coating Rotasjons Susceptor, Tantalkarbidring, TaC belegg rotasjonsplate, TaC-belagt wafer-susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC beleggdeksel, TaC-belagt Chucketc., renheten er under 5 ppm, kan møte kundens krav.


TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD). Fordelen er vist på bildet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalkarbidbelegget (TaC) har fått oppmerksomhet på grunn av dets høye smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termiske støt, noe som gjør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiske prosesser med høyere temperaturkrav, slik som Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiprosess. Den har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen.


Nøkkelfunksjoner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høy renhet

 ●Motstand mot H2, NH3, SiH4,Si

 ●Motstand mot termisk lager

 ●Sterk vedheft til grafitt

 ●Konform beleggdekning

 ● Størrelse opptil 750 mm diameter (den eneste produsenten i Kina når denne størrelsen)


Søknader:

 ●Waferbærer

 ● Induktiv varmemottaker

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellitt disk

 ●Dusjhode

 ●Føringsring

 ●LED Epi-mottaker

 ●Injeksjonsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalkarbid (TaC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalkarbidbelegg:

Fysiske egenskaper til TaC-belegg
Tetthet 14,3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet 0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient 6,3 10-6/K
Hardhet (HK) 2000 HK
Motstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafittstørrelsen endres -10~-20um
Beleggtykkelse ≥20um typisk verdi (35um±10um)


TaC-belegg EDX-data：

EDX data of TaC coating


TaC belegg krystallstruktur data:

Element Atomprosent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gjennomsnittlig
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC -belagt ring for PVT -vekst av SiC enkeltkrystall

TAC -belagt ring for PVT -vekst av SiC enkeltkrystall

Som en av de ledende TAC-beleggproduktleverandørene i Kina, er Vetek Semiconductor i stand til å gi kundene TAC-belegg av høy kvalitet. TAC -belagt ring for PVT -vekst av SIC -enkeltkrystall er en av Vetek Semiconductors mest fremragende og modne produkter. Det spiller en viktig rolle i PVT-veksten av SIC-krystallprosess og kan hjelpe kundene til å dyrke SIC-krystaller av høy kvalitet. Ser frem til din henvendelse.
Se mer >> Send forespørsel >>
CVD TAC belagt tre-petal guide ring

CVD TAC belagt tre-petal guide ring

Vetek Semiconductor har opplevd mange års teknologisk utvikling og har mestret den ledende prosessteknologien til CVD TAC -belegg. CVD TAC-belagt tre-petal guide ring er en av Vetek Semiconductors mest modne CVD TAC-beleggprodukter og er en viktig komponent for å fremstille SIC-krystaller ved PVT-metode. Ved hjelp av Vetek Semiconductor tror jeg at din SIC -krystallproduksjon vil være jevnere og mer effektiv.
Se mer >> Send forespørsel >>
Tantal karbidbeleggingsring

Tantal karbidbeleggingsring

Vetek Semiconductor tantal karbidbeleggingsring er en uunnværlig komponent i halvlederindustrien, spesielt i etsing av SIC -skiver. Kombinasjonen av en grafittbase og TAC-belegg sikrer overlegen ytelse i høye temperaturer og kjemisk aggressive miljøer. Med sin forbedrede termiske stabilitet, korrosjonsmotstand og mekanisk styrke, hjelper Tantal-karbidbelagt ring halvlederprodusenter med å oppnå presisjon, pålitelighet og høykvalitets resultater i deres produksjonsprosesser.
Se mer >> Send forespørsel >>
TAC beleggring

TAC beleggring

TaC Coating Ring er en høyytelseskomponent designet for bruk i halvlederprosesser, VeTek halvleder TaC Coating Ring har høy termisk stabilitet, motstand mot kjemisk korrosjon og utmerket mekanisk styrke og brukes spesielt til å holde og støtte SiC-wafere under etseprosessen, hvor presis kontroll og holdbarhet er avgjørende for å oppnå høykvalitets wafere. vi ser frem til din videre konsultasjon.
Se mer >> Send forespørsel >>
TAC belegg digel

TAC belegg digel

Som en profesjonell TAC -beleggingsgruppeleverandør og produsent i Kina, spiller Vetek Semiconductors TAC -belegg digel en uerstattelig rolle i den enkle krystallvekstprosessen med halvledere med sin utmerkede termiske ledningsevne, enestående kjemisk stabilitet og forbedret korrosjonsmotstand. Velkommen dine videre henvendelser.
Se mer >> Send forespørsel >>
Tantalkarbidbelagt styrering

Tantalkarbidbelagt styrering

Som en ledende leverandør og produsent av TaC-beleggstyreringer i Kina, er VeTek Semiconductor tantalkarbidbelagt styrering en viktig komponent som brukes til å lede og optimalisere strømmen av reaktive gasser i PVT-metoden (Physical Vapor Transport). Det fremmer jevn avsetning av SiC-enkeltkrystaller i vekstsonen ved å justere distribusjonen og hastigheten til gasstrømmen. VeTek Semiconductor er en ledende produsent og leverandør av TaC-beleggføringsringer i Kina og til og med i verden, og vi ser frem til din konsultasjon.
Se mer >> Send forespørsel >>
Som profesjonell Tantalkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å imøtekomme de spesifikke behovene i regionen din eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Tantalkarbidbelegg laget i Kina, kan du gi oss en melding.
Nyhetsanbefalinger
Rull opp! To store produsenter er i ferd med å masseprodusere 8-tommers silisiumkarbid
Rull opp! To store produsenter er i ferd med å masseprodusere 8-tommers silisiumkarbidSe mer >>
Hvordan løse problemet med sintringssprekker i silisiumkarbidkeramikk? - VeTek halvleder
Hvordan løse problemet med sintringssprekker i silisiumkarbidkeramikk? - VeTek halvlederSe mer >>
Velkommen kunder til å besøke Veteksemicons SIC Coating/ TAC -belegg og epitaxy prosessfabrikk
Velkommen kunder til å besøke Veteksemicons SIC Coating/ TAC -belegg og epitaxy prosessfabrikkSe mer >>
Hvilke utfordringer står CVD TaC-beleggsprosessen for SiC-enkeltkrystallvekst overfor i halvlederbehandling?
Hvilke utfordringer står CVD TaC-beleggsprosessen for SiC-enkeltkrystallvekst overfor i halvlederbehandling?Se mer >>
Bruksområde og forskning av silisiumkarbid keramikk innen fotovoltaikk - Vetek Semiconductor
Bruksområde og forskning av silisiumkarbid keramikk innen fotovoltaikk - Vetek SemiconductorSe mer >>
Hva er en epitaksial ovn? - Vetek Semiconductor
Hva er en epitaksial ovn? - Vetek SemiconductorSe mer >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept