TAC -belagt grafittguide ring

TAC (tantal karbid) belagt grafittguide -ring er en kritisk komponent som brukes i halvlederproduksjon, spesielt i prosesser som epitaksial deponering og plasma -etsing. Disse ringene er designet for å holde og plassere silisiumskiver sikkert, noe som sikrer presis innretting og stabilitet under høye temperaturer og tøffe kjemiske miljøer. Våre guideringer er konstruert for å imøtekomme de strenge kravene til moderne halvlederproduksjon, og bidrar til å forbedre prosessutbyttet og skiveekvalitet.

Materialsammensetning og fysiske egenskaper

Kjernen i vår TAC-belagte grafittveiledning er en grafittring med høy renhet, som deretter er belagt med et lag Tantal-karbid (TAC).

Grafittunderlag:

Grafitten gir flere viktige fordeler. Den har utmerket termisk stabilitet, og motstår deformasjon ved de høye temperaturene som er vanlig i halvlederbehandling. Den lette naturen minimerer termisk masse, og gir mulighet for hurtig oppvarming og kjølesyklus. Grafitt med høy renhet forhindrer også forurensning av prosesskammeret.

CVD TAC -belegg:

Tantal karbidbelegg er nøkkelen til ringens overlegne ytelse. TAC er et ekstremt hardt keramisk materiale, og tilbyr eksepsjonell slitestyrke og kjemisk inerthet. Det beskytter den underliggende grafitten mot aggressive plasma og etsende gasser, og utvider ringens levetid betydelig. Dette belegget forhindrer også partikler i å kaste seg, noe som er avgjørende for å opprettholde et rent prosessmiljø og forhindre feil på skiven.

Ringenes ringer i Wafer -behandlingen

Vår TAC Coated Guide Ring spiller en viktig rolle i å sikre kvaliteten og effektiviteten til halvlederproduksjon.

● skiveinnretting og stabilitet: Under epitaksial vekst eller etsing holder guideringen skiven i en presis posisjon. Dette forhindrer at skiven skifter, noe som er essensielt for ensartet lagavsetning og nøyaktig mønsteroverføring over hele skiveoverflaten.

● Termisk styring: De termiske egenskapene til grafitt og tantal karbidbelegg muliggjør effektiv varmefordeling og styring. Dette er kritisk for å opprettholde en jevn temperaturprofil over skiven, som er nødvendig for jevn filmtykkelse og materialegenskaper.

● Forurensningskontroll: Materialene med høy renhet og det slitesterke TAC-belegget minimerer partikkelgenerering og outgassing. Dette reduserer risikoen for skiveforurensning og defekter, noe som fører til høyere utbytte og pålitelighet.

● Utvidet komponent levetid: Det robuste tantalkarbidbelegget gir utmerket motstand mot erosjon av plasma og kjemisk angrep. Dette forlenger driftslivet til guide -ringen, reduserer driftsstans vedlikehold og senker den totale eierkostnaden.