CVD TaC-belagt grafittring

Generell produktinformasjon

Forretningsvilkår for produkter

Søknad: Veteksemicon CVD TaC Coated Ring er spesielt utviklet forSiC krystallvekstprosesser. Som en viktig lastbærende komponent i høytemperaturreaksjonskammeret, isolerer dets unike TaC-belegg effektivt silisiumdampkorrosjon, forhindrer forurensning av urenheter og sikrer strukturell stabilitet i langsiktige høytemperaturmiljøer, og gir en pålitelig garanti for å oppnå krystaller av høy kvalitet.

Tjenester som kan leveres: kundeapplikasjonsscenarioanalyse, matchende materialer, teknisk problemløsning.

Bedriftsprofile：Veteksemicon har 2 laboratorier, et team av eksperter med 20 års materialerfaring, med FoU og produksjon, testing og verifikasjonsevner.

Min rival CVD TaC Coated Ring er et kjerneforbruksmateriale designet for høytemperatur kjemisk dampavsetning og krystallvekst av avanserte halvledermaterialer, spesielt silisiumkarbid. Vi bruker en unik, optimalisert kjemisk dampavsetningsteknologi for å avsette en tett, jevntantalkarbidbeleggpå et grafittsubstrat med høy renhet. Med eksepsjonell motstand mot høye temperaturer, utmerket korrosjonsbestandighet og ekstremt lang levetid, beskytter dette produktet effektivt krystallkvaliteten og reduserer de totale produksjonskostnadene dine betydelig, noe som gjør det til et viktig valg for prosesser som krever prosessstabilitet og høyest utbytte.

Tekniske parametere:

Min rival CVD TaC Coated Ring kjernefordeler

Enestående renhet og stabilitet

I det ekstreme miljøet med SiC-krystallvekst, hvor temperaturen overstiger 2000°C, kan selv sporforurensninger ødelegge de elektriske egenskapene til hele krystallen. VårCVD TaC belegg, med sin eksepsjonelle renhet, eliminerer fundamentalt forurensning fra ringen. Videre sikrer dens utmerkede høytemperaturstabilitet at belegget ikke dekomponerer, fordamper eller reagerer med prosessgasser under langvarig høytemperatur- og termisk syklus, noe som gir et rent og stabilt dampfasemiljø for krystallvekst.

Utmerket korrosjon ogerosjonsmotstand

Korrosjon av grafitt med silisiumdamp er den primære årsaken til feil og partikkelforurensning i tradisjonelle grafittringer. Vårt TaC-belegg, med sin ekstremt lave kjemiske reaktivitet med silisium, blokkerer effektivt silisiumdamp, og beskytter det underliggende grafittsubstratet mot erosjon. Dette forlenger ikke bare levetiden til selve ringen betydelig, men, enda viktigere, reduserer det partikkelmateriale som genereres av substratkorrosjon og avskalling betydelig, noe som direkte forbedrer krystallvekstutbyttet og den indre kvaliteten.

Suveren mekanisk ytelse og levetid

TaC-belegget dannet av CVD-prosessen har ekstremt høy tetthet og Vickers-hardhet, noe som gjør det ekstremt motstandsdyktig mot slitasje og fysisk påvirkning. I praktiske applikasjoner kan produktene våre forlenge levetiden med 3 til 8 ganger sammenlignet med tradisjonelle grafittringer eller pyrolytiske karbon/silisiumkarbidringer. Dette betyr mindre nedetid for utskifting og høyere utstyrsutnyttelse, noe som reduserer de totale kostnadene ved produksjon av én krystall betydelig.

Utmerket beleggkvalitet

Ytelsen til et belegg er svært avhengig av dets jevnhet og bindestyrke. Vår optimaliserte CVD-prosess gjør oss i stand til å oppnå svært jevn beleggtykkelse på selv de mest komplekse ringgeometriene. Enda viktigere er at belegget danner en sterk metallurgisk binding med grafittsubstratet med høy renhet, og forhindrer effektivt avskalling, sprekkdannelse eller flassing forårsaket av forskjeller i termiske ekspansjonskoeffisienter under raske oppvarmings- og kjølesykluser, og sikrer fortsatt pålitelig ytelse gjennom hele produktets livssyklus.

Økologisk kjedebekreftelse

Min rival CVD TaC Coated Rings økologiske kjedeverifisering dekker råmaterialer til produksjon, har bestått internasjonal standardsertifisering, og har en rekke patenterte teknologier for å sikre påliteligheten og bærekraften innen halvleder- og nye energifelt.

For detaljerte tekniske spesifikasjoner, white papers eller prøveopplegg, vennligstkontakt vårt tekniske støtteteamfor å utforske hvordan Veteksemicon kan forbedre prosesseffektiviteten din.