Hva er Tantalum Carbide TAC -belegg? - Veteksemicon

Hva er tantalkarbid (TAC)?

Tantal karbid (TAC) keramisk materiale har et smeltepunkt på opptil 3880 ℃ og er en forbindelse med høyt smeltepunkt og god kjemisk stabilitet. Det kan opprettholde stabil ytelse i miljøer med høy temperatur. I tillegg har den også høy temperaturresistens, kjemisk korrosjonsbestandighet og god kjemisk og mekanisk kompatibilitet med karbonmaterialer, noe som gjør det til et ideelt grafittsubstratbeskyttende beleggmateriale. 

Tantal karbidbeleggkan effektivt beskytte grafittkomponenter mot effekten av varm ammoniakk, hydrogen, silisiumdamp og smeltet metall i tøffe bruksmiljøer, og utvider levetiden til grafittkomponenter og undertrykke migrasjonen av urenheter i grafitt, sikre kvaliteten på kvalitetepitaksialogkrystallvekst.

Figur 1. Vanlige tantal karbidbelagte komponenter

Forberedelse av TAC -belegg ved CVD -prosess

Kjemisk dampavsetning (CVD) er den mest modne og optimale metoden for å produsere TAC -belegg på grafittoverflater.

Ved bruk av TACL5 og propylen som henholdsvis karbon- og tantalkilder, og argon som bæregass, blir den høye temperaturen fordampet TACL5-damp introdusert i reaksjonskammeret. Ved måltemperatur og trykk adsorberer forløpermaterialdampen på overflaten av grafitt, og gjennomgår en serie komplekse kjemiske reaksjoner som nedbrytning og kombinasjon av karbon og tantalkilder, samt en serie overflatereaksjoner som diffusjon og desorpsjon av også-produktene til forløperen. Til slutt dannes et tett beskyttende lag på overflaten av grafitten, som beskytter grafitten mot stabil eksistens under ekstreme miljøforhold og utvider applikasjonsscenariene for grafittmaterialer betydelig.

Figur 2.Kjemisk dampavsetning (CVD) prosessprinsipp

For mer informasjon om prinsippene og prosessen med å utarbeide CVD TAC -belegg, se artikkelen:Hvordan tilberede CVD TAC -belegg?

Hvorfor velge Veteksemicon?

SemiconGir hovedsakelig tantal karbidprodukter: TAC Guide Ring, TAC -belagt tre kronbladsring,TAC belegg digel, TAC -belegg porøs grafitt er mye brukt er SIC krystallvekstprosess; Porøs grafitt med TAC -belagt, TAC -belagt guide ring,TAC -belagt grafittvaferbærer, TAC -beleggmasceptors,Planetary Sosceptor, Og disse tantal karbidbeleggproduktene er mye brukt iSiC epitaxy prosessogSic enkeltkrystallvekstprosess.

Figur 3.VeterinærEK Semiconductors mest populære Tantal -karbidbeleggprodukter