TAC belegg rotasjonsplate

Vetek Semiconductors TAC -belegg rotasjonsplate har en sammensetning med høy renhet, et urenhetsinnhold på mindre enn 5 ppm, og en tett og ensartet struktur, som er mye brukt i LPE EPI -systemer, AixTron -systemer, Nuflare Systems, Tel CVD -systemer, Veeco -systemer, TSI -systemer.

● Utmerkede mekaniske egenskaper:

Belegghardhet opp til 2300HV, med utmerket slitemotstand.

Vedheftet mellom belegget og underlaget er sterkt, og det er ikke lett å falle av eller skrelle.

Belegget kan fremdeles opprettholde god strukturell stabilitet ved høy temperatur.

●  Utmerket korrosjonsmotstand:

TAC -materiale i seg selv har utmerket kjemisk stabilitet og korrosjonsbestandighet.

Vetek Semiconductors belegg klarer seg bra i en rekke aggressive gassmiljøer.

Kan effektivt beskytte de interne komponentene i utstyret mot korrosjonsskader.

● Høy overflatefinish:

Vetek Semiconductor bruker en presis belegningsprosess for å produsere ønsket finish.

Lav overflateuhet bidrar til å redusere partikkelakkumulering og avsetning.

● Beleggskonsistens er bra:

Vetek Semiconductor har et lydkvalitetskontrollsystem for å sikre jevn ytelse mellom partier.

Beleggstykkelsen er jevnt fordelt, og det er ingen åpenbare lokale feil.

● Utmerket praktisk applikasjonsytelse:

Vetek Semiconductors TAC-belegg er mye brukt i mange kjente produsenter av epitaksialt utstyr hjemme og i utlandet.

Produkt fysisk parameter for TAC -belagt rotasjonsplate:

Tantal karbidbelegg på et mikroskopisk tverrsnitt