Nettmeny

Produktsøk

Språk

Produkter

Tantalkarbidbelegg

VeTek semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbeleggmaterialer for halvlederindustrien. Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD-tantalkarbidbeleggdeler, sintrede TaC-beleggsdeler for SiC-krystallvekst eller halvlederepitaksiprosess. Bestått ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontroll på kvalitet. VeTek Semiconductor er dedikert til å bli innovatør i tantalkarbidbeleggindustrien gjennom pågående forskning og utvikling av iterative teknologier.


Hovedproduktene erTaC-belagt styrering, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblad, Tantalkarbid TaC-belagt halvmåne, CVD TaC-belegg planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalkarbidbeleggring, Tantalkarbidbelagt porøs grafitt, TaC Coating Rotasjons Susceptor, Tantalkarbidring, TaC belegg rotasjonsplate, TaC-belagt wafer-susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC beleggdeksel, TaC-belagt Chucketc., renheten er under 5 ppm, kan møte kundens krav.


TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD). Fordelen er vist på bildet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalkarbidbelegget (TaC) har fått oppmerksomhet på grunn av dets høye smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termiske støt, noe som gjør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiske prosesser med høyere temperaturkrav, slik som Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiprosess. Den har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen.


Nøkkelfunksjoner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høy renhet

 ●Motstand mot H2, NH3, SiH4,Si

 ●Motstand mot termisk lager

 ●Sterk vedheft til grafitt

 ●Konform beleggdekning

 ● Størrelse opptil 750 mm diameter (den eneste produsenten i Kina når denne størrelsen)


Søknader:

 ●Waferbærer

 ● Induktiv varmemottaker

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellitt disk

 ●Dusjhode

 ●Føringsring

 ●LED Epi-mottaker

 ●Injeksjonsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalkarbid (TaC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalkarbidbelegg:

Fysiske egenskaper til TaC-belegg
Tetthet 14,3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet 0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient 6,3 10-6/K
Hardhet (HK) 2000 HK
Motstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafittstørrelsen endres -10~-20um
Beleggtykkelse ≥20um typisk verdi (35um±10um)


TaC-belegg EDX-data：

EDX data of TaC coating


TaC belegg krystallstruktur data:

Element Atomprosent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gjennomsnittlig
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Tantal karbidbelagt porøs grafitt

Tantal karbidbelagt porøs grafitt

Tantal karbidbelagt porøs grafitt er et uunnværlig produkt i halvlederbehandlingsprosessen, spesielt i SIC -krystallvekstprosessen. Etter kontinuerlig FoU -investerings- og teknologioppgraderinger, har Vetek Semiconductors TAC -belagte porøse grafittproduktkvalitet vunnet stor ros fra europeiske og amerikanske kunder. Velkommen til din videre konsultasjon.
Se mer >> Send forespørsel >>
CVD TaC-belegg planetarisk SiC epitaksial susceptor

CVD TaC-belegg planetarisk SiC epitaksial susceptor

CVD TAC Coating Planetary SiC Epitaxial Symesceptor er en av kjernekomponentene i MOCVD Planetary Reactor. Gjennom CVD TAC Coating Planetary SiC epitaxial-masceptor roper den store disken og den lille disken, og den horisontale strømningsmodellen utvides til multi-chip-maskiner, slik at den har både den høykvalitets epitaksiale bølgelengde-uniformitetshåndteringen og defektoptimalisering av enkelt -CHIP-maskiner og produksjonskostnadsfordelene ved multi-chip-maskiner. Vetek Semiconductor kan gi kundene svært tilpassede CVD TAC-belegg planetarisk SIC-epitaksialmottar. Hvis du også vil lage en planetarisk mocvd -ovn som Aixstron, kom til oss!
Se mer >> Send forespørsel >>
TAC -belagt ring

TAC -belagt ring

Som en ledende produsent og leverandør av TAC -belagte ringprodukter i Kina, har Vetek Semiconductor fokusert på FoU og produksjon av forskjellige TAC -beleggprodukter. Som de viktigste kundene til TAC -beleggprodukter, har europeiske og amerikanske produsenter gitt stor ros til beleggproduktene våre. Velkommen til din videre konsultasjon.
Se mer >> Send forespørsel >>
Gan Epitaxy Undertaker

Gan Epitaxy Undertaker

Vetek Semiconductor er et kinesisk selskap som er en produsent i verdensklasse og leverandør av GaN Epitaxy-sensekter. Vi har jobbet i halvlederindustrien som silisiumkarbidbelegg og GaN Epitaxy -sensekter i lang tid. Vi kan gi deg gode produkter og gunstige priser. Vetek Semiconductor ser frem til å bli din langsiktige partner.
Se mer >> Send forespørsel >>
TAC -belagt wafer -sensekter

TAC -belagt wafer -sensekter

Vetek Semiconductor TAC -belagte wafer -mottaker er en grafittbrett belagt med tantalkarbid for silisiumkarbid epitaksial vekst for å forbedre wafer -kvalitet og ytelse. Vetek er valgt på grunn av sin avanserte beleggsteknologi og holdbare løsninger for å sikre utmerkede SIC -epitaxy -resultater og utvidet SSECTOR Life, velkommen til dine videre henvendelser.
Se mer >> Send forespørsel >>
Tac beleggguide ringer

Tac beleggguide ringer

Som en ledende produsent av TAC Coating Guide Rings -produkter i Kina, er Vetek Semiconductor TAC -belagte guideringer viktige komponenter i MOCVD -utstyr, som sikrer nøyaktig og stabil gasslevering under epitaksial vekst, og er et uunnværlig materiale i halvleder epitaksial vekst. Velkommen til å konsultere oss.
Se mer >> Send forespørsel >>
Som profesjonell Tantalkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å imøtekomme de spesifikke behovene i regionen din eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Tantalkarbidbelegg laget i Kina, kan du gi oss en melding.
Nyhetsanbefalinger
Hvordan forbedrer SIC -belegg oksidasjonsmotstanden til karbon？
Hvordan forbedrer SIC -belegg oksidasjonsmotstanden til karbon？Se mer >>
Hvor mye vet du om Sapphire?
Hvor mye vet du om Sapphire?Se mer >>
Hva er silisiumkarbid keramikk?
Hva er silisiumkarbid keramikk?Se mer >>
ALD Atomic Layer Deposition Recipe
ALD Atomic Layer Deposition RecipeSe mer >>
Velkommen kunder til å besøke Veteksemicons SIC Coating/ TAC -belegg og epitaxy prosessfabrikk
Velkommen kunder til å besøke Veteksemicons SIC Coating/ TAC -belegg og epitaxy prosessfabrikkSe mer >>
Hva er forskjellen mellom bruk av silisiumkarbid (SiC) og galliumnitrid (GaN)? - VeTek Semiconductor
Hva er forskjellen mellom bruk av silisiumkarbid (SiC) og galliumnitrid (GaN)? - VeTek SemiconductorSe mer >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept