TAC -belegg av sokkelstøtteplate

Vetek Semiconductor er Kina Produsent og leverandør som hovedsakelig produserer CVD TAC -beleggsceptorer, innløpsring, Wafer Chunck, TAC -belagt holder, TAC Coating Pedestal Support Plate med mange års erfaring. Håper å bygge forretningsforhold med deg.

TAC keramikk har et smeltepunkt på opptil 3880 ℃, høy hardhet (MOHS Hardness 9 ~ 10), stor termisk ledningsevne (22W · m^-1· K.⁻¹), stor bøyestyrke (340 ~ 400MPa) og liten termisk ekspansjonskoeffisient (6,6 × 10⁻⁶K⁻¹), og viser utmerket termokjemisk stabilitet og utmerkede fysiske egenskaper. Den har god kjemisk og mekanisk kompatibilitet med grafitt- og C/C -komposittmaterialer, så TAC -belegg er mye brukt i luftfart termisk beskyttelse, enkeltkrystallvekst og epitaksiale reaktorer som Aixstron, LPE EPI -reaktor i halvlederindustrien. 

TAC -belagt grafitt har bedre kjemisk korrosjonsbestandighet enn bar steinblekk eller SIC -belagt grafitt, kan brukes stabilt ved 2200 ° høy temperatur, reagerer ikke med mange metallelementer, er den tredje generasjonen av halvleder enkeltkrystallvekst, epitaxy og kule etsnings -scene av den beste ytelsesbelegget, kan betydelig forbedre prosessen med temperaturen og imponitekontrollen av ensing av ensing av ensypere og imponitere og imponitør for å få en avspenning av en silkal. skiver. Det er spesielt egnet for dyrking av GaN eller ALN enkeltkrystall i MOCVD -utstyr og SIC enkeltkrystall i PVT -utstyr, og kvaliteten på den enkeltkrystall dyrket er åpenbart forbedret.