Produkter
TAC -belegg av sokkelstøtteplate
  • TAC -belegg av sokkelstøtteplateTAC -belegg av sokkelstøtteplate

TAC -belegg av sokkelstøtteplate

TAC -belegg tåler høy temperatur på 2200 ℃. Vetek Semiconductor gir TAC -belegg med høy renhet med urenheter under 5 ppm i Kina. TAC -belegg av sokkelstøtteplate er i stand til å tåle ammoniakkhydrogen, argonin i reaksjonskammeret for epitaksial enhet. Det forbedrer produktets levetid. Du gir kravene, vi gir tilpasning.

Vetek Semiconductor er Kina Produsent og leverandør som hovedsakelig produserer CVD TAC -beleggsceptorer, innløpsring, Wafer Chunck, TAC -belagt holder, TAC Coating Pedestal Support Plate med mange års erfaring. Håper å bygge forretningsforhold med deg.


TAC keramikk har et smeltepunkt på opptil 3880 ℃, høy hardhet (MOHS Hardness 9 ~ 10), stor termisk ledningsevne (22W · m-1· K.−1), stor bøyestyrke (340 ~ 400MPa) og liten termisk ekspansjonskoeffisient (6,6 × 10−6K−1), og viser utmerket termokjemisk stabilitet og utmerkede fysiske egenskaper. Den har god kjemisk og mekanisk kompatibilitet med grafitt- og C/C -komposittmaterialer, så TAC -belegg er mye brukt i luftfart termisk beskyttelse, enkeltkrystallvekst og epitaksiale reaktorer som Aixstron, LPE EPI -reaktor i halvlederindustrien. 


TAC -belagt grafitt har bedre kjemisk korrosjonsbestandighet enn bar steinblekk eller SIC -belagt grafitt, kan brukes stabilt ved 2200 ° høy temperatur, reagerer ikke med mange metallelementer, er den tredje generasjonen av halvleder enkeltkrystallvekst, epitaxy og kule etsnings -scene av den beste ytelsesbelegget, kan betydelig forbedre prosessen med temperaturen og imponitekontrollen av ensing av ensing av ensypere og imponitere og imponitør for å få en avspenning av en silkal. skiver. Det er spesielt egnet for dyrking av GaN eller ALN enkeltkrystall i MOCVD -utstyr og SIC enkeltkrystall i PVT -utstyr, og kvaliteten på den enkeltkrystall dyrket er åpenbart forbedret.


TAC belegg og sic belegg reservedeler vi kan gjøre:

TaC coating and SiC coating Spare parts


Parameter for TAC -belegg:

Fysiske egenskaper ved TAC -belegg
TAC beleggstetthet 14.3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet 0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient 6.3 10-6/K
TAC Coating Hardness (HK) 2000 HK
Motstand 1 × 10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500 ℃
Endringer i grafittstørrelse -10 ~ -20um
Beleggstykkelse ≥20um typisk verdi (35um ± 10um)


StøvelSemiconductor Chip Epitaxy Industry Chain Industrial Chain:

VeTek Semiconductor chip epitaxy industry chain Industrial Chain


Det halvlederTAC -belegg av sokkelstøtteplateProduksjonsbutikk

VeTek Semiconductor TaC Coating Pedestal Support Plate Production Shop


Hot Tags: TaC Coating Pedestal Support Plate
Send forespørsel
Kontaktinfo
For spørsmål om silisiumkarbidbelegg, tantalkarbidbelegg, spesialgrafitt eller prisliste, vennligst legg igjen din e-post til oss, så tar vi kontakt innen 24 timer.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept