Materialer og design

Å velge den matchende kombinasjonen av substrat og belegg er nøkkelen til å forhindre for tidlig komponentsvikt, redusere partikkelforurensning og maksimere waferutbytte. Vi tilbyr skreddersydde material- og strukturdesignløsninger rundt kundens spesifikke prosessvindu (driftstemperatur, reaktiv gasskjemi, rampehastigheter).

Våre kjernedesignegenskaper:

• Strenge CTE Stress Matching:For rask termisk syklus (>100 °C/min) matcher vi CTE-temperaturkurvene for grafittunderlag med høy renhet og CVD-belegg, noe som fundamentalt reduserer risikoen for delaminering av belegg og mikrosprekker.
• Prosess-scenario-spesifikt beleggvalg:CVD SiC-belegg for Si/SiC-epitaksi (Epi), MOCVD og plasmaetsemiljøer; CVD TaC-belegg for høyere temperaturer og sterkt korrosive forhold (f.eks. SiC enkrystall PVT-vekst).
• Kontrollerbar resistivitet og termisk konduktivitetsoptimalisering:Nøyaktig kontroll av bulk-resistivitet og termisk ledningsevne til underlag og belegg for å møte spesifikke elektriske og termiske feltkrav til RF, ESC elektrostatiske chucker eller varmesoner.
• Kontamineringskildekontroll og CoO-reduksjon:CVD-avsetningslag med høy renhet forsegler porøs grafitt tett, noe som reduserer partikkelavgivelsen, diffusjon av ultraspormetallurenheter og risiko for avgassing ved høy temperatur.

Sammenligning av typisk beleggvalg (kortveiledning)

Virkelig sak og kundefordeler (erfaring):

En ledende SiC-epitaksi (Epi)-produsent:Den originale komponenten brukte et ikke-tilpasset CVD TaC-belegg, noe som resulterte i overdreven grenseflatebelastning og hyppige mikrosprekker ved høy temperatur. Vi kjørte termodynamiske simuleringer på nytt og byttet til enCTE-tilpasset spesialgrafittsubstrat med høy renhet + bufferlag + CVD SiC-beleggløsning. Resultat: gjennomsnittlig komponentlevetid økt fra 200 timer til 850 timer; årlig utskiftingsfrekvens per verktøy falt fra 40 til 9 ganger; omfattende utstyr O&M kostnadsbesparelser oversteg RMB 650 000 per år.

GDMS-renhetsanalyserapport for TaC- og SiC-belegg

FAQ

Start din eksklusive tjeneste nå