Silisiumkarbidkeramikk

VeTek Semiconductor er din innovative partner innen halvlederbehandling. Med vår omfattende portefølje av materialkombinasjoner av silisiumkarbidkeramikk av halvlederkvalitet, komponentproduksjonsevner og applikasjonsingeniørtjenester, kan vi hjelpe deg med å overvinne betydelige utfordringer. Teknisk teknisk silisiumkarbidkeramikk er mye brukt i halvlederindustrien på grunn av deres eksepsjonelle materialytelse. VeTek Semiconductors ultrarene silisiumkarbidkeramikk brukes ofte gjennom hele syklusen av halvlederproduksjon og prosessering.

DIFFUSJON OG LPCVD-BEHANDLING

VeTek Semiconductor leverer konstruerte keramiske komponenter spesielt designet for batchdiffusjon og LPCVD-krav, inkludert:

• Bafler og holdere
• Injektorer
• Foringer og prosessrør
• Utkragende padler av silisiumkarbid
• Waferbåter og pidestaller

SiC Cantilever Paddle SiC prosessrør Silisiumkarbid prosessrør SiC vertikal waferbåt SiC horisontal oblatbåt SiC horizontals quare wafer boat SiC LPCVD wafer båt SiC horisontal platebåt SiC keramisk tetningsring

ETSE PROSESSKOMPONENTER

Minimer kontaminering og uplanlagt vedlikehold med komponenter med høy renhet konstruert for påkjenningen av plasmaetsingsbehandling, inkludert:

RASK TERMISK BEHANDLING OG EPITAXIAL PROSESSKOMPONENTER

VeTek Semiconductor leverer avanserte materialkomponenter skreddersydd for høytemperatur termisk prosesseringsapplikasjoner i halvlederindustrien. Disse applikasjonene omfatter RTP, Epi-prosesser, diffusjon, oksidasjon og annealing. Vår tekniske keramikk er designet for å tåle termiske støt, og gir pålitelig og konsistent ytelse. Med VeTek Semiconductors komponenter kan halvlederprodusenter oppnå effektiv og høykvalitets termisk prosessering, noe som bidrar til den generelle suksessen til halvlederproduksjon.