Nettmeny

Produktsøk

Språk

Produkter

Tantalkarbidbelegg

VeTek semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbeleggmaterialer for halvlederindustrien. Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD-tantalkarbidbeleggdeler, sintrede TaC-beleggsdeler for SiC-krystallvekst eller halvlederepitaksiprosess. Bestått ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontroll på kvalitet. VeTek Semiconductor er dedikert til å bli innovatør i tantalkarbidbeleggindustrien gjennom pågående forskning og utvikling av iterative teknologier.


Hovedproduktene erTaC-belagt styrering, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblad, Tantalkarbid TaC-belagt halvmåne, CVD TaC-belegg planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalkarbidbeleggring, Tantalkarbidbelagt porøs grafitt, TaC Coating Rotasjons Susceptor, Tantalkarbidring, TaC belegg rotasjonsplate, TaC-belagt wafer-susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC beleggdeksel, TaC-belagt Chucketc., renheten er under 5 ppm, kan møte kundens krav.


TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD). Fordelen er vist på bildet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalkarbidbelegget (TaC) har fått oppmerksomhet på grunn av dets høye smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termiske støt, noe som gjør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiske prosesser med høyere temperaturkrav, slik som Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiprosess. Den har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen.


Nøkkelfunksjoner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høy renhet

 ●Motstand mot H2, NH3, SiH4,Si

 ●Motstand mot termisk lager

 ●Sterk vedheft til grafitt

 ●Konform beleggdekning

 ● Størrelse opptil 750 mm diameter (den eneste produsenten i Kina når denne størrelsen)


Søknader:

 ●Waferbærer

 ● Induktiv varmemottaker

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellitt disk

 ●Dusjhode

 ●Føringsring

 ●LED Epi-mottaker

 ●Injeksjonsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalkarbid (TaC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalkarbidbelegg:

Fysiske egenskaper til TaC-belegg
Tetthet 14,3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet 0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient 6,3 10-6/K
Hardhet (HK) 2000 HK
Motstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafittstørrelsen endres -10~-20um
Beleggtykkelse ≥20um typisk verdi (35um±10um)


TaC-belegg EDX-data：

EDX data of TaC coating


TaC belegg krystallstruktur data:

Element Atomprosent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gjennomsnittlig
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TaC Coating Rotasjons Susceptor

TaC Coating Rotasjons Susceptor

Som en profesjonell produsent, innovatør og leder av TaC Coating Rotation Susceptor-produkter i Kina. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor er vanligvis installert i utstyr for kjemisk dampavsetning (CVD) og molekylærstråleepitaksi (MBE) for å støtte og rotere wafere for å sikre jevn materialavsetning og effektiv reaksjon. Det er en nøkkelkomponent i halvlederbehandling. Velkommen til din videre konsultasjon.
Se mer >> Send forespørsel >>
CVD TaC-beleggsdigel

CVD TaC-beleggsdigel

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leder av CVD TaC Coating Crucible-produkter i Kina. CVD TaC Coating Crucible er basert på tantalkarbon (TaC) belegg. Tantalkarbonbelegget er jevnt dekket på overflaten av digelen gjennom prosess for kjemisk dampavsetning (CVD) for å forbedre varmebestandigheten og korrosjonsbestandigheten. Det er et materialverktøy spesielt brukt i ekstreme miljøer med høy temperatur. Velkommen til din videre konsultasjon.
Se mer >> Send forespørsel >>
CVD TAC Coating Wafer Carrier

CVD TAC Coating Wafer Carrier

Som en profesjonell produsent og fabrikk for CVD TAC -belegg av waferbærerprodukter i Kina, er Vetek Semiconductor CVD TAC Coating Wafer Carrier et wafer -bæreverktøy som er spesielt designet for høye temperaturer og etsende miljøer i halvlederproduksjon. og CVD TAC-beleggskivebærer har høy mekanisk styrke, utmerket korrosjonsmotstand og termisk stabilitet, og gir den nødvendige garantien for å produsere halvkvalitets halvlederenheter. Dine videre henvendelser er velkomne.
Se mer >> Send forespørsel >>
TAC beleggvarmer

TAC beleggvarmer

Vetek Semiconductor TAC beleggvarmer har et ekstremt høyt smeltepunkt (ca. 3880 ° C). Det høye smeltepunktet gjør det mulig å fungere ved ekstremt høye temperaturer, spesielt i veksten av galliumnitrid (GaN) epitaksiale lag i metall organisk kjemisk dampavsetning (MOCVD) prosess. Vetek Semiconductor er opptatt av å gi kundene tilpassede produktløsninger. Vi ser frem til å høre fra deg.
Se mer >> Send forespørsel >>
CVD TAC belegg

CVD TAC belegg

VeTek Semiconductor er den ledende produsenten av CVD TAC Coating-produkter i Kina. I mange år har vi fokusert på ulike CVD TAC Coating-produkter som CVD TaC-beleggsdeksel, CVD TaC Coating Ring. VeTek Semiconductor støtter tilpassede produkttjenester og tilfredsstillende produktpriser, og ser frem til din videre konsultasjon.
Se mer >> Send forespørsel >>
TAC belagt chuck

TAC belagt chuck

Med sin høye temperaturmotstand, kjemisk inerthet og utmerket ytelse, er Vetek Semiconductors TAC -belagte chucks designet for halvlederovner. Vi tror at produktene våre kan gi deg avansert teknologi og kvalitetsproduktløsninger.
Se mer >> Send forespørsel >>
Som profesjonell Tantalkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å imøtekomme de spesifikke behovene i regionen din eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Tantalkarbidbelegg laget i Kina, kan du gi oss en melding.
Nyhetsanbefalinger
Hva er den epitaksiale prosessen?
Hva er den epitaksiale prosessen?Se mer >>
Hva er keramikk av silisiumkarbid?
Hva er keramikk av silisiumkarbid?Se mer >>
De tre beste leverandørene av kvartsmateriell i verden
De tre beste leverandørene av kvartsmateriell i verdenSe mer >>
Bruksområde og forskning av silisiumkarbid keramikk innen fotovoltaikk - Vetek Semiconductor
Bruksområde og forskning av silisiumkarbid keramikk innen fotovoltaikk - Vetek SemiconductorSe mer >>
Silisiumkarbid nanomaterialer
Silisiumkarbid nanomaterialerSe mer >>
Hva er SIC-belagt grafittmottar?
Hva er SIC-belagt grafittmottar?Se mer >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept