Nettmeny

Produktsøk

Språk

Produkter

Tantalkarbidbelegg

VeTek semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbeleggmaterialer for halvlederindustrien. Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD-tantalkarbidbeleggdeler, sintrede TaC-beleggsdeler for SiC-krystallvekst eller halvlederepitaksiprosess. Bestått ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontroll på kvalitet. VeTek Semiconductor er dedikert til å bli innovatør i tantalkarbidbeleggindustrien gjennom pågående forskning og utvikling av iterative teknologier.


Hovedproduktene erTaC-belagt styrering, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblad, Tantalkarbid TaC-belagt halvmåne, CVD TaC-belegg planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalkarbidbeleggring, Tantalkarbidbelagt porøs grafitt, TaC Coating Rotasjons Susceptor, Tantalkarbidring, TaC belegg rotasjonsplate, TaC-belagt wafer-susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC beleggdeksel, TaC-belagt Chucketc., renheten er under 5 ppm, kan møte kundens krav.


TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD). Fordelen er vist på bildet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalkarbidbelegget (TaC) har fått oppmerksomhet på grunn av dets høye smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termiske støt, noe som gjør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiske prosesser med høyere temperaturkrav, slik som Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiprosess. Den har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen.


Nøkkelfunksjoner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høy renhet

 ●Motstand mot H2, NH3, SiH4,Si

 ●Motstand mot termisk lager

 ●Sterk vedheft til grafitt

 ●Konform beleggdekning

 ● Størrelse opptil 750 mm diameter (den eneste produsenten i Kina når denne størrelsen)


Søknader:

 ●Waferbærer

 ● Induktiv varmemottaker

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellitt disk

 ●Dusjhode

 ●Føringsring

 ●LED Epi-mottaker

 ●Injeksjonsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalkarbid (TaC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalkarbidbelegg:

Fysiske egenskaper til TaC-belegg
Tetthet 14,3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet 0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient 6,3 10-6/K
Hardhet (HK) 2000 HK
Motstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafittstørrelsen endres -10~-20um
Beleggtykkelse ≥20um typisk verdi (35um±10um)


TaC-belegg EDX-data：

EDX data of TaC coating


TaC belegg krystallstruktur data:

Element Atomprosent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gjennomsnittlig
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC beleggvarmer

TAC beleggvarmer

Vetek Semiconductor TAC beleggvarmer har et ekstremt høyt smeltepunkt (ca. 3880 ° C). Det høye smeltepunktet gjør det mulig å fungere ved ekstremt høye temperaturer, spesielt i veksten av galliumnitrid (GaN) epitaksiale lag i metall organisk kjemisk dampavsetning (MOCVD) prosess. Vetek Semiconductor er opptatt av å gi kundene tilpassede produktløsninger. Vi ser frem til å høre fra deg.
Se mer >> Send forespørsel >>
CVD TAC belegg

CVD TAC belegg

VeTek Semiconductor er den ledende produsenten av CVD TAC Coating-produkter i Kina. I mange år har vi fokusert på ulike CVD TAC Coating-produkter som CVD TaC-beleggsdeksel, CVD TaC Coating Ring. VeTek Semiconductor støtter tilpassede produkttjenester og tilfredsstillende produktpriser, og ser frem til din videre konsultasjon.
Se mer >> Send forespørsel >>
TAC belagt chuck

TAC belagt chuck

Med sin høye temperaturmotstand, kjemisk inerthet og utmerket ytelse, er Vetek Semiconductors TAC -belagte chucks designet for halvlederovner. Vi tror at produktene våre kan gi deg avansert teknologi og kvalitetsproduktløsninger.
Se mer >> Send forespørsel >>
TAC beleggrør

TAC beleggrør

Vetek Semiconductors TAC -beleggrør er en nøkkelkomponent for vellykket vekst av silisiumkarbidkrystaller. Med sin høye temperaturmotstand, kjemisk inertness og utmerket ytelse, som sikrer produksjon av krystaller av høy kvalitet med konsistente resultater. Stol på våre innovative løsninger for å forbedre din PVT -metode sic krystallvekstprosess og oppnå utmerkede resultater. Velkommen til å undersøke oss.
Se mer >> Send forespørsel >>
Porøs tantalkarbidbelagt grafittring

Porøs tantalkarbidbelagt grafittring

Se mer >> Send forespørsel >>
TAC Coating Spare del

TAC Coating Spare del

TAC-belegg brukes foreløpig hovedsakelig i prosesser som silisiumkarbid enkeltkrystallvekst (PVT-metode), epitaksial disk (inkludert silisiumkarbid epitaxy, LED-epitaxy), etc. kombinert med den gode langsiktige stabiliteten til TAC-beleggplaten, har veteker. Vi ser frem til at du blir vår langsiktige partner.
Se mer >> Send forespørsel >>
Som profesjonell Tantalkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å imøtekomme de spesifikke behovene i regionen din eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Tantalkarbidbelegg laget i Kina, kan du gi oss en melding.
Nyhetsanbefalinger
Hva er SIC-belagt grafittmottar?
Hva er SIC-belagt grafittmottar?Se mer >>
Intelligent skjæringsteknologi for kubisk silisiumkarbidskiver
Intelligent skjæringsteknologi for kubisk silisiumkarbidskiverSe mer >>
Hva er porøs grafitt med høy renhet?
Hva er porøs grafitt med høy renhet?Se mer >>
Hva er SIC keramikk?
Hva er SIC keramikk?Se mer >>
Hvor mye vet du om Sapphire?
Hvor mye vet du om Sapphire?Se mer >>
Kinesiske selskaper utvikler angivelig 5nm chips med Broadcom!
Kinesiske selskaper utvikler angivelig 5nm chips med Broadcom!Se mer >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept