Porøs tantalkarbid (TaC) belagt grafittring

Produktfunksjoner

• Kjerneutstyr:Beregnet for SiC enkeltkrystallvekstovner som opererer med PVT-teknologi.
• Primærapplikasjon:Egnet for termiske feltsystemer i tredjegenerasjons halvleder SiC-krystallvekst.
• Høy temperatur stabilitet:TaC-belegget beholder strukturell integritet under ultrahøye temperaturer, og støtter utvidet drift i krevende termiske miljøer.
• Korrosjonsbeskyttelse:Det tette CVD TaC-laget beskytter grafittsubstratet fra silisiumdamp, karbonholdige gasser og andre etsende arter som påtreffes under SiC-vekst.
• Termisk feltytelse:Den porøse grafittbasen hjelper til med varmefordeling og damptransport, noe som bidrar til å opprettholde stabile vekstforhold.
• Lav forurensning:Utgangsmaterialer med høy renhet og det tette belegget begrenser frigjøring av urenheter og partikkelavgivelse, noe som gagner krystallkvaliteten.
• Forlenget levetid:TaC-laget forbedrer oksidasjonsmotstand, overflatehardhet og generell holdbarhet ved høye temperaturer.
• Beleggvedheft:CVD-prosessen gir en sterk binding mellom TaC-filmen og grafittsubstratet.
• Egendefinerte alternativer:Dimensjoner, strukturelle detaljer og beleggsspesifikasjoner kan justeres for å matche ulike SiC-vekstovnskrav.

Tekniske spesifikasjoner

Søknader

VETEK porøs TaC-belagt grafittring brukes primært i:

• SiC enkeltkrystallvekst via PVT
• Tredje generasjons halvlederproduksjon
• SiC-substratproduksjon
• Termiske feltsystemer i krystallvekstovner
• Høytemperatur halvlederbehandling
• Avanserte grafitt-hot-zone-komponenter

FAQ

1. Hva er en porøs TaC-belagt grafittring?

Det er en termisk feltkomponent for SiC-krystallvekstovner. Den kombinerer en porøs grafittstruktur med et CVD TaC-belegg for å gi termisk styring og beskyttelse mot høytemperaturkorrosjon.

2. Hvorfor bruke TaC-belegg for SiC-krystallvekst?

TaC gir stabilitet ved høye temperaturer og kjemisk motstand. Den beskytter grafitt fra silisiumdampangrep og bidrar til å opprettholde et rent, stabilt vekstmiljø.

3. Hva tilbyr den porøse grafittstrukturen?

Den porøse designen støtter termisk distribusjon og gasstransport i ovnen, noe som bidrar til stabile SiC-krystallvekstforhold.

4. Kan VETEK produsere tilpassede TaC-belagte grafittringer?

Ja. VETEK tilbyr tilpasning basert på kundetegninger, ovnsdesign og prosessbehov, inkludert dimensjoner, substratkonfigurasjon og beleggparametere.