VeTek Semiconductor gir spesialgrafitt som silikonisert grafitt, pyrolytisk karbon, porøs grafitt, glassaktig karbonbelegg, høyrent grafittark og isostatisk grafitt med høy renhet er flere typer spesielle grafittmaterialer som deler felles egenskaper og bruksområder. Her er en kort introduksjon til funksjonene og applikasjonene deres:
● Silikonisert grafitt: Silikonisert grafitt er et spesielt grafittmateriale dannet ved å kombinere grafitt med silisiumforbindelser. Den viser utmerket motstand mot høye temperaturer, korrosjonsbestandighet og mekaniske egenskaper. Silikonisert grafitt brukes ofte i høytemperaturovner, korrosjonsbestandig utstyr og halvlederproduksjon.
● Pyrolytisk karbon: Pyrolytisk karbon er et karbonmateriale oppnådd ved høytemperaturpyrolyse av organiske stoffer som kull og petroleumskoks. Den har høy renhet, tetthet, styrke og lav elektrisk ledningsevne. Pyrolytisk karbon finner brede anvendelser som høytemperaturmaterialer og strukturelle komponenter i halvledere, kjemisk utstyr, romfart og andre felt.
● Porøs grafitt: Porøs grafitt er et spesielt grafittmateriale med mikro- og mesoporøse strukturer. Den har et stort spesifikt overflateareal og porøsitet, og tilbyr utmerkede adsorpsjons- og varmeledningsegenskaper. Porøs grafitt brukes ofte i gasseparasjon, SiC-krystallvekst og andre applikasjoner.
● Glassaktig karbonbelegg: Glassaktig karbonbelegg refererer til teknikken for å påføre glassaktig karbonmateriale som overflatebelegg. Den viser enestående korrosjonsmotstand, slitestyrke og elektrisk ledningsevne. Glassaktig karbonbelegg brukes ofte i korrosjonsbestandige belegg, beleggmateriale for E-Beam Gun og andre halvlederfelt.
● Isostatisk grafitt med høy renhet: Isostatisk grafitt med høy renhet er et spesialgrafittmateriale med høy renhet fremstilt gjennom en isostatisk presseprosess med høy temperatur. Den har en jevn mikrostruktur, høy tetthet og lavt oksygeninnhold. Isostatisk grafitt med høy renhet er mye brukt i presisjonsmaskinering, varmeavledningsmaterialer, halvlederproduksjon, fotovoltaikk, romfart og andre industrier.
Høyrent grafittpapir er et spesialisert materiale som brukes i halvlederindustrien. Med sin eksepsjonelle termiske og elektriske ledningsevne spiller den en viktig rolle i applikasjoner som kjøleribber, termiske grensesnittmaterialer og elektrisk isolasjon. Den lette og fleksible naturen til grafittpapir med høy renhet gjør det ideelt for å forbedre termisk styring og optimalisere ytelsen til halvlederenheter. Dens høye renhet (urenhet under 5 ppm) sikrer pålitelig og effektiv drift, noe som gjør den til en verdifull komponent i produksjon og montering av halvledere.
Disse spesielle grafittmaterialene tilbyr unike egenskaper og bruksfordeler innen sine respektive felt. De spiller en kritisk rolle i høytemperaturmiljøer, korrosjonsbestandighet, elektronikk, energi, kjemiteknikk, romfart og halvlederindustri, og gir viktig støtte for fremskritt og innovasjoner i disse sektorene.
Nøkkelfunksjoner
● Alternativer med ultrahøy renhet med urenhetsnivåer under 5 ppm for kritiske halvlederprosesser.
● Utmerket høytemperaturstabilitet og termisk støtmotstand egnet for PVT SiC-krystallvekst og vakuumovner.
● Ulike materialformer: isostatisk grafitt, porøs grafitt, silikonisert grafitt, PyC-belegg, glassaktig karbonbelegg og fleksible grafittplater.
● Overlegen korrosjonsmotstand, slitestyrke og kontrollert porøsitet for gasshåndtering og termiske feltapplikasjoner.
● Egen maskinerings- og beleggingsevne (SiC / TaC / PyC) som muliggjør one-stop-tilpassede løsninger.
● Kompatibel med store halvleder- og krystallvekstutstyrsplattformer.
Produktspesifikasjoner
| Pyrolytisk karbon (PyC) beleggparameter |
| Punkt |
Enhet |
verdi |
| Krystallstruktur |
-
|
Sekskantet |
| Justering |
-
|
Orientert eller ikke-orientert langs 001 retning |
| Bulkdensitet |
g/cm³ |
~2,24 |
| Mikrostruktur |
-
|
Polykrystallinsk/Flerlags grafen |
| Hardhet |
GPa |
1.1
|
| Elastisk modul |
GPa |
10
|
| Typisk tykkelse |
μm |
30-100 |
| Overflatens ruhet |
μm |
1.5
|
| Produktets renhet |
ppm |
≤5 ppm |
Søknader
For å møte de ulike behovene til halvleder- og høytemperaturprosesser tilbyr VeTek målrettede spesialgrafittprodukter. Følgende tabell klassifiserer dem etter hovedbruksområder, og viser typiske materialer/komponenter og aktuelle prosesser:
| Søknadsfelt |
Typiske materialer / produkter |
Søknadsbeskrivelse |
| SiC Crystal Growth (PVT) |
Porøs grafitt, PyC-belagt grafittring, isostatisk grafittdigel, styrering
|
Brukt i PVT SiC krystallvekst termiske felt; gir kontrollert damptransport, høy renhet og termisk stabilitet opp til >2200°C, noe som reduserer partikkelforurensning. |
| Halvlederepitaksi / MOCVD |
varmeovner, PyC / glassaktig karbonbelagte deler
|
Termiske feltkomponenter med høy renhet for Si/SiC/GaN-epitaksi og MOCVD-systemer; utmerket temperaturuniformitet og kjemisk treghet. |
| Høytemperaturovner og vakuum |
Grafittvarmere, Tre-blads grafittdigel
|
Korrosjonsbestandige og termisk stabile materialer for vakuumovner, varmesonevarmere og høytemperaturbehandlingsutstyr. |
| Termisk styring |
Grafittfilt med høy renhet, Grafittpapir
|
Fleksible plater med høy termisk/elektrisk ledningsevne for kjøleribber, termiske grensesnittmaterialer og elektrisk isolasjon i halvlederenheter (urenhet <5 ppm). |
| Korrosjon / Slitasjebeskyttelse |
Glassaktig karbonbelegg, silikonisert grafitt |
Overflatebelegg og bulkmaterialer som tilbyr enestående korrosjonsmotstand, slitestyrke og elektrisk ledningsevne for E-strålevåpen og tøffe miljøer. |
| Gassseparasjon og -adsorpsjon |
Porøs grafitt
|
Mikro/mesoporøs struktur med stort spesifikt overflateareal for gasseparasjon, filtrering og kontrollert atmosfære. |
For mer detaljerte løsninger for produkt- og prosessmatching, se de relaterte underkategorisidene:Porøs grafitt, Isotrop grafitt, Pyrolytisk karbonbeleggosv.
Som en profesjonell spesialgrafittprodusent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar spesialgrafitt laget i Kina, kan dulegg igjen en melding.
