Hva er TAC -belegg? - Vetek Semiconductor

TAC -belegg (Tantal karbidbelegg) er en høyytelsesbeleggmateriale produsert ved kjemisk dampavsetning (CVD) prosess. På grunn av de utmerkede egenskapene til TAC -belegg under ekstreme forhold, er det mye brukt i halvlederproduksjonsprosessen, spesielt i utstyr og komponenter som krever høy temperatur og sterkt etsende miljø. TAC -belegg brukes vanligvis til å beskytte underlag (for eksempel grafitt eller keramikk) mot skade ved høy temperatur, etsende gasser og mekanisk slitasje.

Fysiske egenskaper ved TAC -belegg

Produktfunksjoner og fordeler

● Ekstremt høy termisk stabilitet:

Funksjonsbeskrivelse: TAC -belegg har et smeltepunkt på mer enn 3880 ° C og kan opprettholde stabilitet uten nedbrytning eller deformasjon i ekstremt høyt temperaturmiljø.

Fordel: Dette gjør det til et uunnværlig materiale i halvtemperatur halvlederutstyr som CVD TAC-belegg og TAC-belagte sensekter, spesielt for applikasjoner i MOCVD-reaktorer, for eksempel Aixstron G5-utstyr.

● Utmerket korrosjonsmotstand:

Funksjonsbeskrivelse: TAC har ekstremt sterk kjemisk inertness og kan effektivt motstå erosjonen av etsende gasser som klorider og fluorider.

Fordeler: I halvlederprosesser som involverer svært etsende kjemikalier, beskytter TAC -belegg utstyrskomponenter mot kjemisk angrep, forlenger levetiden og forbedrer prosessstabiliteten, spesielt i anvendelsen av silisiumkarbidbåt og andre viktige komponenter.

● Utmerket mekanisk hardhet:

Funksjonsbeskrivelse: Hardheten ved TAC-belegget er så høyt som 9-10 Mohs, noe som gjør det motstandsdyktig mot mekanisk slitasje og høy temperaturspenning.

Fordel: Eiendommen med høy hardhet gjør TAC-belegg spesielt egnet for bruk i miljø med høyt slitasje og høye stress, og sikrer langsiktig stabilitet og pålitelighet av utstyr under tøffe forhold.

● Lav kjemisk reaktivitet:

Funksjonsbeskrivelse: På grunn av dets kjemiske inerthet, kan TAC -belegg opprettholde lav reaktivitet i miljøer med høy temperatur og unngå unødvendige kjemiske reaksjoner med reaktive gasser.

Fordel: Dette er spesielt viktig i halvlederproduksjonsprosessen fordi det sikrer renheten i prosessmiljøet og avsetning av materialer av høy kvalitet.

Rollen til TAC -belegg i halvlederbehandling

● Beskytte nøkkelutstyrskomponenter:

Funksjonsbeskrivelse: TAC -belegg er mye brukt i nøkkelkomponenter i halvlederproduksjonsutstyr, for eksempel TAC -belagte sensekter, som må jobbe under ekstreme forhold. Ved å belegge med TAC kan disse komponentene operere i lange perioder i høy temperatur og etsende gassmiljøer uten å bli skadet.

● forlenge levetiden:

Funksjonsbeskrivelse: I MOCVD -utstyr som AixTron G5, kan TAC -belegg betydelig forbedre holdbarheten til utstyrskomponenter og redusere behovet for vedlikehold og utskifting av utstyr på grunn av korrosjon og slitasje.

● Forbedre prosessstabiliteten:

Funksjonsbeskrivelse: I halvlederproduksjon sikrer TAC -belegg enhetligheten og konsistensen av avsetningsprosessen ved å gi et stabilt høyt temperatur og kjemisk miljø. Dette er spesielt viktig i epitaksiale vekstprosesser som silisiumpitaksi og galliumnitrid (GaN).

● Forbedre prosesseffektiviteten:

Funksjonsbeskrivelse: Ved å optimalisere belegget på overflaten av utstyret, kan TAC -belegg forbedre den generelle effektiviteten i prosessen, redusere defekthastigheten og øke produktutbyttet. Dette er kritisk for fremstilling av høye høye renhetssematerialer med høy renhet.

Den høye termiske stabiliteten, utmerket korrosjonsbestandighet, mekanisk hardhet og lav kjemisk reaktivitet vist ved TAC -belegg under halvlederbehandling gjør det til et ideelt valg for å beskytte halvlederproduksjonsutstyrskomponenter. Ettersom halvlederindustriens etterspørsel etter høy temperatur, høy renhet og effektive produksjonsprosesser fortsetter å øke, har TAC -belegget brede applikasjonsutsikter, spesielt i utstyr og prosesser som involverer CVD TAC -belegg, TAC -belagte masceptor og Aixstron G5.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd er en ledende leverandør av avanserte beleggmaterialer for halvlederindustrien. Vårt firma fokuserer på å utvikle nyskapende løsninger for industrien.

Våre viktigste produkttilbud inkludererCVD silisiumkarbid (SIC) belegg, Tantal karbid (TAC) belegg, Bulk SIC, SIC pulver og SIC-materialer med høy renhet, SIC-belagt grafittmottar, forvarmingsringer, TAC-belagt avledningsring, halvmonedeler, etc., renheten er under 5 ppm, kan oppfylle kundens krav.

Vetek Semiconductor fokuserer på å utvikle nyskapende teknologi og produktutviklingsløsninger for halvlederindustrien.Vi håper inderlig å bli din langsiktige partner i Kina.