Sic belegg ald sensceptor

Det halvlederSic belegg ald sensceptorSpiller en viktig rolle i atomlagsavsetningen (Ald) prosess. Den nøyaktige temperaturkontrollen, ensartet gassfordeling, høy kjemisk motstand og utmerket termisk konduktivitet sikrer enhetligheten og den høye kvaliteten på filmavsetningsprosessen. Hvis du vil vite mer, kan du konsultere oss umiddelbart, og vi vil svare deg i tide!

Presis temperaturkontroll:

SIC-belegg ALD-sensekteren har vanligvis et høye presisjonstemperaturkontrollsystem. Det er i stand til å opprettholde et jevnt temperaturmiljø gjennom avsetningsprosessen, noe som er avgjørende for å sikre ensartetheten og kvaliteten på filmen.

Enhetlig gassfordeling:

Den optimaliserte utformingen av SIC -belegg ALD -sensekterer sikrer den ensartede fordelingen av gass under ALD -deponeringsprosessen. Strukturen inkluderer vanligvis flere roterende eller bevegelige deler for å fremme ensartet dekning av reaktive gasser over hele skiveoverflaten.

Høy kjemisk motstand:

Siden ALD-prosessen involverer en rekke kjemiske gasser, er SIC-belegg ALD-sensator vanligvis laget av korrosjonsresistente materialer (som platina, keramikk eller høyrenhetskvarts) for å motstå erosjonen av kjemiske gasser og påvirkning av høye temperaturmiljøer.

Utmerket varmeledningsevne:

For effektivt å utføre varme og opprettholde en stabil avsetningstemperatur, bruker SIC -belegg ALD -sensere vanligvis høye termiske konduktivitetsmaterialer. Dette hjelper til med å unngå lokal overoppheting og ujevn avsetning.

Grunnleggende fysiske egenskaper ved CVD SIC -belegg:

Produksjonsbutikker:

Oversikt over halvlederbrikken Epitaxy Industry Chain：