Vet du om MOCVD -masceptor?

I den metall-organiske kjemiske dampavsetningen (MOCVD) er suceptoren en nøkkelkomponent som er ansvarlig for å støtte skiven og sikre ensartethet og presis kontroll av deponeringsprosessen. Dens materielle seleksjon og produktegenskaper påvirker direkte stabiliteten i den epitaksiale prosessen og kvaliteten på produktet.

MOCVD -støtte(Metallorganisk kjemisk dampavsetning) er en nøkkelprosesskomponent i halvlederproduksjon. Det brukes hovedsakelig i MOCVD-prosessen (metall-organisk kjemisk dampavsetning) for å støtte og varme opp skiven for tynn filmavsetning. Design og materialvalg av suceptoren er avgjørende for enhetligheten, effektiviteten og kvaliteten på sluttproduktet.

Produkttype og materialvalg:

Utformingen og materialvalget av MOCVD -masceptor er mangfoldig, vanligvis bestemt av prosessbehov og reaksjonsbetingelser.Følgende er vanlige produkttyper og deres materialer:

SIC belagt sensekter(Silisiumkarbidbelagt sensator):

BESKRIVELSE: SOMSECTOR med SIC-belegg, med grafitt- eller andre høye temperaturmaterialer som underlag, og CVD SIC-belegg (CVD SIC-belegg) på overflaten for å forbedre slitestyrken og korrosjonsmotstanden.

Bruksområde: Det er mye brukt i MOCVD -prosesser i høy temperatur og svært etsende gassmiljøer, spesielt i silisiumpitaksi og sammensatt halvlederavsetning.

TAC -belagte SUBERS:

BESKRIVELSE: SOMSECTOR med TAC -belegg (CVD TAC -belegg) ettersom hovedmaterialet har ekstremt høy hardhet og kjemisk stabilitet og er egnet for bruk i ekstremt etsende miljøer.

Bruksområde: Brukes i MOCVD -prosesser som krever høyere korrosjonsresistens og mekanisk styrke, for eksempel avsetning av galliumnitrid (GaN) og galliumarsenid (GAAS).

Silisiumkarbidbelagt grafittmottar for MOCVD:

Beskrivelse: Underlaget er grafitt, og overflaten er dekket med et lag med CVD SIC -belegg for å sikre stabilitet og lang levetid ved høye temperaturer.

Bruksområde: Egnet for bruk i utstyr som Aixtron MOCVD-reaktorer for å produsere høykvalitets sammensatte halvledermaterialer.

Epi Support (Epitaxy Supporter):

BESKRIVELSE: SOMSECTOR Spesielt designet for epitaksial vekstprosess, vanligvis med SIC -belegg eller TAC -belegg for å forbedre dens termiske ledningsevne og holdbarhet.

Bruksområde: I silisium epitaxy og sammensatt halvleder epitaxy brukes den til å sikre jevn oppvarming og avsetning av skiver.

Hovedrollen som sensekter for MOCVD i halvlederbehandling:

Wafer -støtte og jevn oppvarming:

FUNKSJON: SOSCEPTOR brukes til å støtte skiver i MOCVD -reaktorer og gi jevn varmefordeling gjennom induksjonsoppvarming eller andre metoder for å sikre ensartet filmavsetning.

Varmeledning og stabilitet:

Funksjon: Den termiske konduktiviteten og termisk stabilitet av miskatormaterialer er avgjørende. SIC-belagte sensekterer og TAC-belagte sensekterer kan opprettholde stabiliteten i høye temperaturprosesser på grunn av deres høye termiske ledningsevne og høye temperaturmotstand, og unngå filmdefekter forårsaket av ujevn temperatur.

Korrosjonsmotstand og lang levetid:

FUNKSJON: I MOCVD -prosessen blir masceptoren utsatt for forskjellige kjemiske forløpergasser. SIC -belegg og TAC -belegg gir utmerket korrosjonsmotstand, reduserer samspillet mellom materialoverflaten og reaksjonsgassen, og forlenger levetiden til sensekteren.

Optimalisering av reaksjonsmiljø:

Funksjon: Ved bruk av høykvalitetsmisterere er gasstrømmen og temperaturfeltet i MOCVD-reaktoren optimalisert, noe som sikrer en enhetlig filmavsetningsprosess og forbedrer utbyttet og ytelsen til enheten. Det brukes vanligvis i masceptors for MOCVD -reaktorer og Aixstron MOCVD -utstyr.

Produktfunksjoner og tekniske fordeler：

Høy termisk ledningsevne og termisk stabilitet:

Funksjoner: SIC- og TAC -belagte mottakere har ekstremt høy termisk konduktivitet, kan raskt og jevnt fordele varme og opprettholde strukturell stabilitet ved høye temperaturer for å sikre jevn oppvarming av skiver.

Fordeler: Egnet for MOCVD -prosesser som krever presis temperaturkontroll, for eksempel epitaksial vekst av sammensatte halvledere som galliumnitrid (GaN) og gallium arsenid (GaAs).

Utmerket korrosjonsmotstand:

Funksjoner: CVD SIC -belegg og CVD TAC -belegg har ekstremt høy kjemisk inertness og kan motstå korrosjon fra svært etsende gasser som klorider og fluorider, og beskytte underlaget til sensoren mot skade.

Fordeler: forleng levetiden til mykten, reduser vedlikeholdsfrekvensen og forbedrer den generelle effektiviteten til MOCVD -prosessen.

Høy mekanisk styrke og hardhet:

Funksjoner: Den høye hardheten og mekaniske styrken til SIC- og TAC-belegg gjør det mulig for mottakoren å tåle mekanisk belastning i miljøer med høyt temperatur og høyt trykk og opprettholde langsiktig stabilitet og presisjon.

Fordeler: Spesielt egnet for produksjonsprosesser for halvleder som krever høy presisjon, for eksempel epitaksial vekst og kjemisk dampavsetning.

Markedsøknad og utviklingsutsikter

MOCVD -følsomheterer mye brukt i fremstilling av LED-er med høy lyshet, elektroniske enheter (for eksempel GaN-baserte HEMT), solceller og andre optoelektroniske enheter. Med den økende etterspørselen etter høyere ytelse og lavere strømforbruk halvlederenheter, fortsetter MOCVD -teknologien å avansere, og driver innovasjon innen sensatormaterialer og design. For eksempel å utvikle SIC-beleggsteknologi med høyere renhet og lavere defekttetthet, og optimalisere den strukturelle utformingen av masceptor for å tilpasse seg større skiver og mer komplekse flerlags epitaksiale prosesser.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd er en ledende leverandør av avanserte beleggmaterialer for halvlederindustrien. Vårt firma fokuserer på å utvikle nyskapende løsninger for industrien.

Våre viktigste produkttilbud inkluderer CVD-silisiumkarbid (SIC) belegg, tantalkarbid (TAC) belegg, bulk SIC, SIC-pulver og SIC-materialer med høy renhet, SIC-belagte grafittmottor, forvarm, TAC-belagte avledningsring, halvmune deler, osv., Purheten er nedenfor 5PPM-belagte avledningsring, halvmune.

Vetek Semiconductor fokuserer på å utvikle nyskapende teknologi og produktutviklingsløsninger for halvlederindustrien. Vi håper inderlig å bli din langsiktige partner i Kina.