PZT piezoelektriske wafere (PZT på Si/SOI)

1. Teknisk arkitektur

Våre wafere har en sofistikert flerlags stabelstruktur designet for å sikre optimal adhesjon, ledningsevne og piezoelektrisk respons under kompleks MEMS-behandling:

 ●Toppelektrode (nøkkellag): Pt (Platina).

● Piezolag (kjernelag): PZT.

● Mellomlag: Inkluderer bufferlag, bunnelektrode og adhesjonslag for å optimalisere kornorientering og strukturell stabilitet.

● Substrat: Kompatibel med Si eller SOI wafere.

2. Kvalitetssikring og mikrostrukturanalyse

Vi sikrer høy pålitelighet gjennom streng teknisk karakterisering:

 ●SEM-analyse: Scanning Electron Microscopy (SEM)-bilder avslører en tett, sprekkfri overflatemorfologi med jevn kornstørrelsesfordeling, ideell for MEMS-applikasjoner med høy pålitelighet.

 ●XRD-karakterisering: Røntgendiffraksjonsmønstre (XRD) bekrefter ren perovskittfasedannelse med en sterk (100) foretrukket orientering, noe som sikrer maksimale piezoelektriske ytelseskoeffisienter.

3. Tekniske spesifikasjoner (egenskaper)

4. Kjerneapplikasjoner

 ● Piezoelektriske mikromaskinerte ultralydtransdusere (pMUT): Høyfrekvente miniatyriserte arrays for fingeravtrykksensorer, bevegelsesgjenkjenning og ultralydradar for biler.

 ● Kommunikasjon: Nøkkel for å produsere FBAR- eller SAW-filtre i 5G/6G for å oppnå større båndbredde og lavere innsettingstap.

 ● Akustisk MEMS: Gir kraftig transient respons for MEMS-høyttalere og forbedrer Signal-to-Noise Ratio (SNR) for MEMS-mikrofoner.

 ● Presisjonsvæskekontroll: Høyhastighets vibrasjon via d31-modus for nøyaktig kontroll av dråpevolumet i inkjet-skrivehoder på nanoliterskala.

 ● Medisinsk og skjønnhet (mikropumping): Driver medisinske forstøvere eller kosmetiske ultralydpumper med høy pålitelighet og kompakt størrelse.

5. Tilpasningstjenester

I tillegg til standard deponering på Si wafere, tilbyr vi også tilpassede deponeringstjenester:

 ●Tilpasning av film og tykkelse: Avsetning av spesifikke filmtyper og tilpassede tykkelser i henhold til designkrav.

 ●OEM støperi: Aksept av wafere levert fra kunder for høykvalitets piezoelektrisk tynnfilmvekst.

 ●SOI-substratstøtte: Spesialisert avsetning på SOI-wafere med følgende spesifikasjoner: