TAC Coating Spare del

Det halvlederTAC beleggplateer et spesielt materiale som er mye brukt ihalvlederproduksjonsprosess. Kombinert med sin høye hardhet og slitestyrke, høye temperaturmotstand, korrosjonsbestandighet, lav friksjonskoeffisient og god termisk ledningsevne, spiller TAC -beleggplaten en uerstattelig rolle i mange koblinger av halvlederbehandling.

Generelt sett applikasjonene tilTAC -belagte platerI halvlederbehandling er som følger:

● CVD/ALD vekstsubstrat: Den høye temperaturmotstanden, kjemisk stabilitet og lav friksjonskoeffisient for TAC -belagte plater gjør dem til ideelle CVD/ALD -vekstsubstrater. Det kan gi et stabilt vekstmiljø for å sikre filmen ensartethet og tetthet.

●  Etsende maskeplate: Den høye hardheten og korrosjonsmotstanden til TAC-belagte plater gjør dem i stand til å motstå høye energi-prosesser som plasma-etsing, som etsemaskeplater, og beskytter den underliggende filmen.

●  CMP poleringspute: Brukmotstanden og lav friksjonskoeffisient for TAC -belagte plater gjør dem til ideelle materialer for CMP -poleringsputer, som effektivt kan fjerne partikler og defekter på overflaten av filmen.

●  Høytemperatur ovnrør: Den høye temperaturmotstanden og korrosjonsmotstanden til TAC -belagte plater gjør dem i stand til å brukes som ovnrør i høytemperaturovner for annealing av høy temperatur, diffusjon og andre prosesser.

CVD TAC -belegg tekniske parametere：

Vetek Semiconductor TAC Coating Spare Del Products Shops：