Nettmeny

Produktsøk

Språk

Produkter

Tantalkarbidbelegg

VeTek semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbeleggmaterialer for halvlederindustrien. Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD-tantalkarbidbeleggdeler, sintrede TaC-beleggsdeler for SiC-krystallvekst eller halvlederepitaksiprosess. Bestått ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontroll på kvalitet. VeTek Semiconductor er dedikert til å bli innovatør i tantalkarbidbeleggindustrien gjennom pågående forskning og utvikling av iterative teknologier.


Hovedproduktene erTaC-belagt styrering, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblad, Tantalkarbid TaC-belagt halvmåne, CVD TaC-belegg planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalkarbidbeleggring, Tantalkarbidbelagt porøs grafitt, TaC Coating Rotasjons Susceptor, Tantalkarbidring, TaC belegg rotasjonsplate, TaC-belagt wafer-susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC beleggdeksel, TaC-belagt Chucketc., renheten er under 5 ppm, kan møte kundens krav.


TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD). Fordelen er vist på bildet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalkarbidbelegget (TaC) har fått oppmerksomhet på grunn av dets høye smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termiske støt, noe som gjør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiske prosesser med høyere temperaturkrav, slik som Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiprosess. Den har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen.


Nøkkelfunksjoner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høy renhet

 ●Motstand mot H2, NH3, SiH4,Si

 ●Motstand mot termisk lager

 ●Sterk vedheft til grafitt

 ●Konform beleggdekning

 ● Størrelse opptil 750 mm diameter (den eneste produsenten i Kina når denne størrelsen)


Søknader:

 ●Waferbærer

 ● Induktiv varmemottaker

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellitt disk

 ●Dusjhode

 ●Føringsring

 ●LED Epi-mottaker

 ●Injeksjonsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalkarbid (TaC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalkarbidbelegg:

Fysiske egenskaper til TaC-belegg
Tetthet 14,3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet 0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient 6,3 10-6/K
Hardhet (HK) 2000 HK
Motstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafittstørrelsen endres -10~-20um
Beleggtykkelse ≥20um typisk verdi (35um±10um)


TaC-belegg EDX-data：

EDX data of TaC coating


TaC belegg krystallstruktur data:

Element Atomprosent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gjennomsnittlig
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Porøs grafitt med TAC belagt

Porøs grafitt med TAC belagt

Porøs grafitt med TAC -belagt er et avansert halvlederbehandlingsmateriale levert av Vetek Semiconductor. Porøs grafitt med TAC -belagte kombinerer fordelene med porøs grafitt og tantal karbid (TAC) belegg, med god termisk konduktivitet og gasspermeabilitet. Vetek Semiconductor er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser.
Se mer >> Send forespørsel >>
Tantal karbidbeleggdeksel

Tantal karbidbeleggdeksel

Tantal karbidbeleggdeksel er sammensatt av grafitt med høy renhet og TAC-belegg. Vetek Semiconductor er en ledende leverandør og produsent av tantal karbidbeleggdeksel i Kina. Vi fokuserer på å tilby høye renheter, høye temperaturresistente tantal karbidprodukter. Vårt tantal karbidbelagte dekke har utmerket ytelse og pålitelighet, og kan effektivt beskytte materialer i ekstremt høy temperatur og etsende miljøer. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina. Velkommen til å konsultere når som helst.
Se mer >> Send forespørsel >>
TAC -belagt avbøyningsring

TAC -belagt avbøyningsring

Vetek Semiconductors TAC -belagte deflektorring er en høyt spesialisert komponent designet for SIC -krystallvekstprosesser. TAC -belegget gir utmerket høye temperaturmotstand og kjemisk inerthet for å takle de høye temperaturene og etsende miljøer under krystallvekstprosessen. Dette sikrer stabil ytelse og lang levetid for komponenten, og reduserer frekvensen av erstatning og driftsstans. Vi er opptatt av å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser og ser frem til å være din langsiktige partner i Kina. Velkommen å konsultere når som helst.
Se mer >> Send forespørsel >>
Tantal karbidbelagt rør for krystallvekst

Tantal karbidbelagt rør for krystallvekst

Tantal karbidbelagt rør for krystallvekst brukes hovedsakelig i SIC -krystallvekstprosess. Vetek Semiconductor har levert tantal karbidbelagt rør for krystallvekst i mange år og har jobbet innen TAC -belegg i mange år. Våre produkter har en høy renhet og høy temperaturmotstand. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina. Spør oss gjerne.
Se mer >> Send forespørsel >>
TAC -belagt ring for SiC epitaxial reaktor

TAC -belagt ring for SiC epitaxial reaktor

Vetek Semiconductor er en ledende produsent og teknologiinnovatør av TAC-belagt ring for SIC epitaksialreaktor i Kina, med fokus på å tilby høyytelsesløsninger for SIC-epitaksiale reaktorer. Vi har mange års erfaring innen TAC -beleggsteknologi. TAC-belagt ring har egenskapene til høy renhet, høy stabilitet, utmerket korrosjonsmotstand, etc., og kan gi langsiktig stabil ytelse i det tøffe arbeidsmiljøet til epitaksiske reaktorer. Vi ser frem til å etablere et langsiktig strategisk partnerskap med deg.
Se mer >> Send forespørsel >>
Tantalkarbidbelagt halvmånedel for LPE

Tantalkarbidbelagt halvmånedel for LPE

VeTek Semiconductor er en ledende leverandør av Tantalkarbidbelagt Halfmoon Part for LPE i Kina, med fokus på TaC-beleggsteknologi i mange år. Vår tantalkarbidbelagte halvmånedel for LPE er designet for flytende fase-epitaksi og tåler høye temperaturer på over 2000 grader Celsius. Med utmerket materialytelse og prosessinnovasjon er vår produktlevetid på det ledende nivået i bransjen. VeTek Semiconductor ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.
Se mer >> Send forespørsel >>
Som profesjonell Tantalkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å imøtekomme de spesifikke behovene i regionen din eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Tantalkarbidbelegg laget i Kina, kan du gi oss en melding.
Nyhetsanbefalinger
Sanan Optoelectronics Co., Ltd: 8-tommers SIC-brikker forventes å bli satt i produksjon i desember!
Sanan Optoelectronics Co., Ltd: 8-tommers SIC-brikker forventes å bli satt i produksjon i desember!Se mer >>
ALD Atomic Layer Deposition Recipe
ALD Atomic Layer Deposition RecipeSe mer >>
Silisium(Si)-epitaksiprepareringsteknologi
Silisium(Si)-epitaksiprepareringsteknologiSe mer >>
Porøs tantal karbid: en ny generasjon materialer for SIC krystallvekst
Porøs tantal karbid: en ny generasjon materialer for SIC krystallvekstSe mer >>
Hva er halvlederepitaksiprosess?
Hva er halvlederepitaksiprosess?Se mer >>
Hva er en PECVD -grafittbåt?
Hva er en PECVD -grafittbåt?Se mer >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept