Hvilke materialer brukes i halvleder keramiske komponenter?

Alumina keramikk (Al₂o₃) ‌

Alumina keramikk er "arbeidshesten" for å produsere keramiske komponenter. De viser utmerkede mekaniske egenskaper, ultrahøye smeltepunkter og hardhet, korrosjonsmotstand, sterk kjemisk stabilitet, høy resistivitet og overlegen elektrisk isolasjon. De brukes ofte til å fremstille poleringsplater, vakuum chucks, keramiske armer og lignende deler.

‌Aluminum Nitride Ceramics (ALN)

Aluminiumnitrid keramikk har høy termisk ledningsevne, en termisk ekspansjonskoeffisient som samsvarer med silisium, og lav dielektrisk konstant og tap. Med fordeler som høyt smeltepunkt, hardhet, termisk ledningsevne og isolasjon, brukes de først og fremst i varmedissipating underlag, keramiske dyser og elektrostatiske chucks.

‌Ytria keramikk (y₂o₃)

Yttria keramikk kan skilte med et høyt smeltepunkt, utmerket kjemisk og fotokjemisk stabilitet, lav fononenergi, høy termisk ledningsevne og god gjennomsiktighet. I halvlederindustrien er de ofte kombinert med aluminiumoksyd keramikk - for eksempel blir YTTRIA -beleggene påført aluminiumoksydkeramikk for å produsere keramiske vinduer.

‌Silicon Nitride Ceramics (Si₃n₄) ‌

Silisiumnitrid keramikk er preget av et høyt smeltepunkt, eksepsjonell hardhet, kjemisk stabilitet, lav termisk ekspansjonskoeffisient, høy termisk ledningsevne og sterk termisk sjokkmotstand. De opprettholder enestående påvirkningsmotstand og styrke under 1200 ° C, noe som gjør dem ideelle for keramiske underlag, bærende kroker, plassering av pinner og keramiske rør.

‌Silicon Carbide Ceramics (SIC) ‌

Silisiumkarbid keramikk, som ligner diamant i egenskaper, er lette, ultraharde og høye styrke materialer. Med eksepsjonell omfattende ytelse, slitestyrke og korrosjonsmotstand, er de mye brukt i ventilseter, glidelager, brennere, dyser og varmevekslere.

‌Zirconia keramikk (ZRO₂) ‌

Zirconia keramikk gir høy mekanisk styrke, varmebestandighet, syre/alkalisk motstand og utmerket isolasjon. Basert på Zirconia -innhold er de kategorisert i:

• Precision Ceramics‌ (innhold som overstiger 99,9%, brukt til integrerte kretssubstrater og høyfrekvente isolasjonsmaterialer).
• Vanlig keramikk‌ (for generelle keramiske produkter).

Strukturelle egenskaper vedHalvleder keramikk Komponenter

‌Thavs Ceramics‌

Tett keramikk er mye brukt i halvlederindustrien. De oppnår fortetting ved å minimere porene og blir fremstilt via metoder som reaksjonsinterende, trykkløs sintring, sintring av væskefase, varmpressing og varm isostatisk pressing.

‌Porøs keramikk

I motsetning til tett keramikk, inneholder porøs keramikk et kontrollert volum av tomrom. De er klassifisert av porestørrelse i mikroporøs, mesoporøs og makroporøs keramikk. Med lav bulk -tetthet, lett struktur, stort spesifikt overflate, effektiv filtrering/termisk isolasjon/akustiske dempingsegenskaper og stabil kjemisk/fysisk ytelse, brukes de til å produsere forskjellige komponenter i halvlederutstyr.