TaC-belagt ring med tre kronblad

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør av TaC-belagte trebladsringer i Kina. Den TaC-belagte ringen med tre kronblad brukes i Aixtron G10-avsetningssystem for sammensatte halvledere, G10-GaN 150/200 mm epitaksi med høy gjennomstrømning for GaN kraft og RF applikasjoner.

VeTek Semiconductor TaC-belegg er en ny generasjon høytemperaturbestandig materiale, med bedre høytemperaturstabilitet enn SiC, som et korrosjonsbestandig belegg, oksidasjonsbestandig belegg, slitebestandig belegg, kan brukes i miljøet over 2000 ℃, mye brukt i romfart ultra-høy temperatur varme ende deler, tredje generasjon av halvleder enkeltkrystall vekst og andre felt.

Produktfunksjoner:

1.

2.

3. Det er kjemisk inert for ammoniakk, hydrogen, silan og silisium ved høy temperatur og har god termisk stabilitet.

4. Termisk sjokkmotstand, kan fremskynde operasjonssyklusen

5. Sterk grafittvedheft sikrer lang levetid og ingen delaminering av belegg.

6. Strenge dimensjonstoleranser.

Hovedapplikasjoner:

1. Epitaksial vekst

2. Enkeltkrystallvekst

3. Korrosjon av høy temperatur

4. Høy temperatur og oksidasjonsbestandig dyse

5. Gassturbinblader

Produktparameter for den TaC-belagte ringen med tre kronblad

Sammenlign halvlederproduksjonsbutikk ：