Nettmeny

Produktsøk

Språk

Produkter

Tantalkarbidbelegg

VeTek semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbeleggmaterialer for halvlederindustrien. Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD-tantalkarbidbeleggdeler, sintrede TaC-beleggsdeler for SiC-krystallvekst eller halvlederepitaksiprosess. Bestått ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontroll på kvalitet. VeTek Semiconductor er dedikert til å bli innovatør i tantalkarbidbeleggindustrien gjennom pågående forskning og utvikling av iterative teknologier.


Hovedproduktene erTaC-belagt styrering, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblad, Tantalkarbid TaC-belagt halvmåne, CVD TaC-belegg planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalkarbidbeleggring, Tantalkarbidbelagt porøs grafitt, TaC Coating Rotasjons Susceptor, Tantalkarbidring, TaC belegg rotasjonsplate, TaC-belagt wafer-susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC beleggdeksel, TaC-belagt Chucketc., renheten er under 5 ppm, kan møte kundens krav.


TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD). Fordelen er vist på bildet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalkarbidbelegget (TaC) har fått oppmerksomhet på grunn av dets høye smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termiske støt, noe som gjør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiske prosesser med høyere temperaturkrav, slik som Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiprosess. Den har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen.


Nøkkelfunksjoner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høy renhet

 ●Motstand mot H2, NH3, SiH4,Si

 ●Motstand mot termisk lager

 ●Sterk vedheft til grafitt

 ●Konform beleggdekning

 ● Størrelse opptil 750 mm diameter (den eneste produsenten i Kina når denne størrelsen)


Søknader:

 ●Waferbærer

 ● Induktiv varmemottaker

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellitt disk

 ●Dusjhode

 ●Føringsring

 ●LED Epi-mottaker

 ●Injeksjonsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalkarbid (TaC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalkarbidbelegg:

Fysiske egenskaper til TaC-belegg
Tetthet 14,3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet 0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient 6,3 10-6/K
Hardhet (HK) 2000 HK
Motstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafittstørrelsen endres -10~-20um
Beleggtykkelse ≥20um typisk verdi (35um±10um)


TaC-belegg EDX-data：

EDX data of TaC coating


TaC belegg krystallstruktur data:

Element Atomprosent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gjennomsnittlig
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TaC-belagt ring med tre kronblad

TaC-belagt ring med tre kronblad

VeTek Semiconductor er en ledende produsent av TaC-belagte trebladsringer og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på TaC- og SiC-belegg i mange år. Våre produkter har en korrosjonsbestandighet, høy styrke. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina. Velkommen til å konsultere når som helst.
Se mer >> Send forespørsel >>
Tantal karbidbelagt chuck

Tantal karbidbelagt chuck

Vetek Semiconductor er en ledende tantal karbidbelagt chuck-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert i TAC-belegg i mange år. Våre produkter har en høy renhet og høy temperaturmotstand opp til 2000 ℃. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Se mer >> Send forespørsel >>
Tantal karbidbelagt dekke

Tantal karbidbelagt dekke

Vetek Semiconductor er en ledende Tantalum -karbidbelagt dekkprodusent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialiserte i TAC og SIC -belegg i mange år. Våre produkter har en korrosjonsmotstand, høy styrke. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina. Velkommen å konsultere når som helst.
Se mer >> Send forespørsel >>
Ultra Pure Graphite Nedre Halfmoon

Ultra Pure Graphite Nedre Halfmoon

Vetek Semiconductor er en ledende leverandør av tilpasset Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon i Kina, og spesialiserer seg i avanserte materialer i mange år. Vår Ultra Pure Graphite Nedre Halfmoon er spesielt designet for SIC -epitaksialt utstyr, noe som sikrer utmerket ytelse. Laget av ultra-pure importert grafitt, og gir pålitelighet og holdbarhet. Besøk fabrikken vår i Kina for å utforske vår høykvalitets Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon Firsthand.Velcome å konsultere når som helst.
Se mer >> Send forespørsel >>
Øvre halvmoon del sic belagt

Øvre halvmoon del sic belagt

Vetek Semiconductor er en ledende leverandør av tilpasset øvre Halfmoon Part SIC belagt i Kina, og spesialiserer seg i avanserte materialer i over 20 år. Vetek Semiconductor Upper Halfmoon Part SIC Coated er spesielt designet for SIC -epitaksialt utstyr, og fungerer som en avgjørende komponent i reaksjonskammeret. Laget av ultra-pure, grafitt i halvlederklasse, det sikrer utmerket ytelse. Vi inviterer deg til å besøke fabrikken vår i Kina. Velkommen til å konsultere når som helst.
Se mer >> Send forespørsel >>
Silisiumkarbid epitaxy waferbærer

Silisiumkarbid epitaxy waferbærer

Vetek Semiconductor er en ledende tilpasset silisiumkarbid epitaxy waferbærerleverandør i Kina. Vi har vært spesialisert i avansert materiale mer enn 20 år. Vi tilbyr en silisiumkarbid epitaxy waferbærer for å bære SiC -substrat, voksende sic epitaxy lag i sic epitaxial reactor. Denne silisiumkarbid epitaxy wafer -bæreren er en viktig SIC -belagt del av halvmånet del, høy temperaturmotstand, oksidasjonsmotstand, slitasje motstand. Vi ønsker deg velkommen til å besøke fabrikken vår i Kina. Velkommen til å konsultere når som helst.
Se mer >> Send forespørsel >>
Som profesjonell Tantalkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å imøtekomme de spesifikke behovene i regionen din eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Tantalkarbidbelegg laget i Kina, kan du gi oss en melding.
Nyhetsanbefalinger
Porøs tantal karbid: en ny generasjon materialer for SIC krystallvekst
Porøs tantal karbid: en ny generasjon materialer for SIC krystallvekstSe mer >>
Prinsipper og teknologi for fysisk dampavsetning (PVD) belegg (2/2) - VeTek Semiconductor
Prinsipper og teknologi for fysisk dampavsetning (PVD) belegg (2/2) - VeTek SemiconductorSe mer >>
Vet du om MOCVD -masceptor?
Vet du om MOCVD -masceptor?Se mer >>
Hva er SIC-belagt grafittmottar?
Hva er SIC-belagt grafittmottar?Se mer >>
Hva er keramikk av silisiumkarbid?
Hva er keramikk av silisiumkarbid?Se mer >>
Hva er forskjellen mellom epitaxy og ALD?
Hva er forskjellen mellom epitaxy og ALD?Se mer >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept