Nettmeny

Produktsøk

Språk

Produkter

Tantalkarbidbelegg

VeTek semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbeleggmaterialer for halvlederindustrien. Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD-tantalkarbidbeleggdeler, sintrede TaC-beleggsdeler for SiC-krystallvekst eller halvlederepitaksiprosess. Bestått ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontroll på kvalitet. VeTek Semiconductor er dedikert til å bli innovatør i tantalkarbidbeleggindustrien gjennom pågående forskning og utvikling av iterative teknologier.


Hovedproduktene erTaC-belagt styrering, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblad, Tantalkarbid TaC-belagt halvmåne, CVD TaC-belegg planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalkarbidbeleggring, Tantalkarbidbelagt porøs grafitt, TaC Coating Rotasjons Susceptor, Tantalkarbidring, TaC belegg rotasjonsplate, TaC-belagt wafer-susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC beleggdeksel, TaC-belagt Chucketc., renheten er under 5 ppm, kan møte kundens krav.


TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD). Fordelen er vist på bildet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalkarbidbelegget (TaC) har fått oppmerksomhet på grunn av dets høye smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termiske støt, noe som gjør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiske prosesser med høyere temperaturkrav, slik som Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiprosess. Den har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen.


Nøkkelfunksjoner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høy renhet

 ●Motstand mot H2, NH3, SiH4,Si

 ●Motstand mot termisk lager

 ●Sterk vedheft til grafitt

 ●Konform beleggdekning

 ● Størrelse opptil 750 mm diameter (den eneste produsenten i Kina når denne størrelsen)


Søknader:

 ●Waferbærer

 ● Induktiv varmemottaker

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellitt disk

 ●Dusjhode

 ●Føringsring

 ●LED Epi-mottaker

 ●Injeksjonsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalkarbid (TaC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalkarbidbelegg:

Fysiske egenskaper til TaC-belegg
Tetthet 14,3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet 0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient 6,3 10-6/K
Hardhet (HK) 2000 HK
Motstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafittstørrelsen endres -10~-20um
Beleggtykkelse ≥20um typisk verdi (35um±10um)


TaC-belegg EDX-data：

EDX data of TaC coating


TaC belegg krystallstruktur data:

Element Atomprosent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gjennomsnittlig
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC -belagt guide ring

TAC -belagt guide ring

TAC-belagt føringsring er laget av grafitt- og TAC-belegg av høy kvalitet. Ved fremstilling av SIC -krystaller ved PVT -metode, brukes Vetek Semiconductors TAC -belagte guide -ring hovedsakelig til å veilede og kontrollere luftstrømmen, optimalisere den enkeltkrystallvekstprosessen og forbedre enkeltkrystallutbyttet. Med utmerket TAC -beleggsteknologi har produktene våre utmerket høye temperaturmotstand, korrosjonsmotstand og gode mekaniske egenskaper.
Se mer >> Send forespørsel >>
Tantal karbidbelagt planetarisk rotasjonsdisk

Tantal karbidbelagt planetarisk rotasjonsdisk

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og leverandør av Tantalkarbidbelagt Planetary Rotation Disk i Kina, med fokus på TaC-beleggsteknologi i mange år. Våre produkter har høy renhet og utmerket motstand mot høye temperaturer, som er anerkjent av halvlederprodusenter. VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk har blitt ryggraden i waferepitaksindustrien. Vi ser frem til å etablere et langsiktig partnerskap med deg for i fellesskap å fremme teknologisk fremgang og produksjonsoptimalisering.
Se mer >> Send forespørsel >>
TAC -belagt grafittvaferbærer

TAC -belagt grafittvaferbærer

VeTek Semiconductor har nøye designet TaC Coated Graphite Wafer Carrier for kunder. Den er sammensatt av grafitt og TaC-belegg med høy renhet, som er egnet for ulike epitaksiale wafer-behandlinger. Vi har vært spesialisert på SiC og TaC-belegg i mange år. Sammenlignet med SiC-belegg har vår TaC-belagte grafittplatebærer høyere temperaturmotstand og slitestyrke. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Se mer >> Send forespørsel >>
Som profesjonell Tantalkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å imøtekomme de spesifikke behovene i regionen din eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Tantalkarbidbelegg laget i Kina, kan du gi oss en melding.
Nyhetsanbefalinger
Hva er den spesifikke anvendelsen av TAC -belagte deler i halvlederfeltet?
Hva er den spesifikke anvendelsen av TAC -belagte deler i halvlederfeltet?Se mer >>
De fire kraftigste grafittprodusentene i verden - Vetek
De fire kraftigste grafittprodusentene i verden - VetekSe mer >>
Hvor porøs grafitt forbedrer silisiumkarbidkrystallvekst?
Hvor porøs grafitt forbedrer silisiumkarbidkrystallvekst?Se mer >>
Halvlederprosess: Kjemisk dampavsetning (CVD)
Halvlederprosess: Kjemisk dampavsetning (CVD)Se mer >>
Tre SIC enkeltkrystallvekstteknologier
Tre SIC enkeltkrystallvekstteknologierSe mer >>
Hva er den epitaksiale prosessen?
Hva er den epitaksiale prosessen?Se mer >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept