Produkter
Tantal karbidbelagt chuck
  • Tantal karbidbelagt chuckTantal karbidbelagt chuck

Tantal karbidbelagt chuck

Vetek Semiconductor er en ledende tantal karbidbelagt chuck-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert i TAC-belegg i mange år. Våre produkter har en høy renhet og høy temperaturmotstand opp til 2000 ℃. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Vetek halvlederforsyning av høy kvalitet Tantal karbidbelagt chuck, sic beleggdeler med konkurransedyktig pris. Velkommen til henvendelse US.vetek Semiconductor tantal karbidbelagt chuck, spesielt designet for Aixstron G10 MOCVD -systemet. Dette tilbehøret forbedrer effektiviteten og kvaliteten i halvlederproduksjon, og gir enestående ytelse og pålitelighet.

Chuck er laget av høykvalitetsmaterialer og produsert med presisjon, og har et grafittsubstrat belagt med CVD tantal karbid (TAC). Dette belegget gir utmerket termisk stabilitet, høy renhet og motstand mot høye temperaturer. Det sikrer pålitelig ytelse under de krevende forholdene til MOCVD -prosesser.

Chuck kan tilpasses for å imøtekomme forskjellige halvlederskivestørrelser, noe som gjør den egnet for forskjellige produksjonskrav. Den robuste konstruksjonen minimerer driftsstans og vedlikeholdskostnader forbundet med wafer -transportører og masceptorer.

Med Vetek Semiconductor tantal karbidbelagt chuck, oppnår Aixstron G10 MOCVD -systemet høyere effektivitet og overlegne resultater i halvlederproduksjon. Den eksepsjonelle termiske stabiliteten, kompatibiliteten med forskjellige skivestørrelser og pålitelige ytelser gjør det til et viktig verktøy for å optimalisere produksjonseffektiviteten og oppnå fremragende utfall i det utfordrende MOCVD -miljøet.


Produktparameter av tantal karbidbelagt chuck

Fysiske egenskaper ved TAC -belegg
Tetthet 14.3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet 0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient 6.3 10-6/K
Hardness (HK) 2000 HK
Motstand 1 × 10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500 ℃
Endringer i grafittstørrelse -10 ~ -20um
Beleggstykkelse ≥20um typisk verdi (35um ± 10um)


Wafer -ytelse etter å ha brukt komponentene våre:

Wafer performance after using our components


Sammenlign halvlederproduksjonsbutikk :

VeTek Semiconductor Production Shop


Oversikt over halvlederbransjens bransjekjede:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: Tantal karbidbelagt chuck
Send forespørsel
Kontaktinfo
For spørsmål om silisiumkarbidbelegg, tantalkarbidbelegg, spesialgrafitt eller prisliste, vennligst legg igjen din e-post til oss, så tar vi kontakt innen 24 timer.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept