Nettmeny

Produktsøk

Språk

Produkter

Tantalkarbidbelegg

VeTek semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbeleggmaterialer for halvlederindustrien. Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD-tantalkarbidbeleggdeler, sintrede TaC-beleggsdeler for SiC-krystallvekst eller halvlederepitaksiprosess. Bestått ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontroll på kvalitet. VeTek Semiconductor er dedikert til å bli innovatør i tantalkarbidbeleggindustrien gjennom pågående forskning og utvikling av iterative teknologier.


Hovedproduktene erTaC-belagt styrering, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblad, Tantalkarbid TaC-belagt halvmåne, CVD TaC-belegg planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalkarbidbeleggring, Tantalkarbidbelagt porøs grafitt, TaC Coating Rotasjons Susceptor, Tantalkarbidring, TaC belegg rotasjonsplate, TaC-belagt wafer-susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC beleggdeksel, TaC-belagt Chucketc., renheten er under 5 ppm, kan møte kundens krav.


TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD). Fordelen er vist på bildet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalkarbidbelegget (TaC) har fått oppmerksomhet på grunn av dets høye smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termiske støt, noe som gjør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiske prosesser med høyere temperaturkrav, slik som Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiprosess. Den har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen.


Nøkkelfunksjoner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høy renhet

 ●Motstand mot H2, NH3, SiH4,Si

 ●Motstand mot termisk lager

 ●Sterk vedheft til grafitt

 ●Konform beleggdekning

 ● Størrelse opptil 750 mm diameter (den eneste produsenten i Kina når denne størrelsen)


Søknader:

 ●Waferbærer

 ● Induktiv varmemottaker

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellitt disk

 ●Dusjhode

 ●Føringsring

 ●LED Epi-mottaker

 ●Injeksjonsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalkarbid (TaC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalkarbidbelegg:

Fysiske egenskaper til TaC-belegg
Tetthet 14,3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet 0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient 6,3 10-6/K
Hardhet (HK) 2000 HK
Motstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafittstørrelsen endres -10~-20um
Beleggtykkelse ≥20um typisk verdi (35um±10um)


TaC-belegg EDX-data：

EDX data of TaC coating


TaC belegg krystallstruktur data:

Element Atomprosent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gjennomsnittlig
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
CVD TAC beleggring

CVD TAC beleggring

I halvlederindustrien er CVD TAC -beleggring en svært fordelaktig komponent designet for å oppfylle de krevende kravene til silisiumkarbid (SIC) krystallvekstprosesser. Vetek Semiconductors CVD TAC-beleggingsring gir enestående høye temperaturresistens og kjemisk inertness, noe som gjør det til et ideelt valg for miljøer preget av forhøyede temperaturer og etsende forhold. Vi er opptatt av å skape effektiv produksjon av silisiumkarbid enkeltkrystalltilbehør. Pls kan du gjerne kontakte oss for flere spørsmål.
Se mer >> Send forespørsel >>
Lpe sic epi halvmoon

Lpe sic epi halvmoon

LPE SiC Epi Halfmoon er en spesiell design for horisonasjonell epitaxyovn, et revolusjonerende produkt designet for å heve LPE -reaktor SiC Epitaxy -prosesser. Denne banebrytende løsningen kan skilte med flere viktige funksjoner som sikrer overlegen ytelse og effektivitet i hele produksjonsoperasjonene. Vetek Semiconductor er profesjonell ved å produsere LPE SIC EPI HalfMoon i 6 tommer, 8 tommer. Se fremover for å sette opp langsiktig samarbeid med deg.
Se mer >> Send forespørsel >>
LED EPI

LED EPI

Vetek Semiconductor er en ledende leverandør av TAC -belegg og SIC -beleggingsgrafittdeler. Vi spesialiserer oss i produksjonen av nyskapende LED EPI-masceptors, essensielle for LED-epitaksiprosesser. Ser frem til din videre konsultasjon.
Se mer >> Send forespørsel >>
MOCVD Susceptor med TaC-belegg

MOCVD Susceptor med TaC-belegg

Vetek Semiconductor er en omfattende leverandør involvert i forskning, utvikling, produksjon, design og salg av TAC -belegg og SIC -beleggdeler. Vår ekspertise ligger i produksjonen av avansert MOCVD-sensekter med TAC-belegg, som spiller en viktig rolle i LED-epitaksiprosessen. Vi ønsker deg velkommen til å diskutere med oss ​​henvendelser og ytterligere informasjon.
Se mer >> Send forespørsel >>
TaC-belagt dyp UV LED Susceptor

TaC-belagt dyp UV LED Susceptor

TaC belegg er en ny generasjon belegg utvikle for tøffe miljøer.VeTek Semiconductor er en integrert leverandør engasjert i forskning og utvikling, produksjon, design og salg av TaC belegg. Vi spesialiserer oss på å produsere kantskjærende TaC-belagte UV LED-susceptorer, som er avgjørende komponenter i LED-epitaksiprosessen. Vår TaC Coated Deep UV LED Susceptor tilbyr høy termisk ledningsevne, høy mekanisk styrke, forbedret produksjonseffektivitet og epitaksial waferbeskyttelse. Velkommen til å spørre oss.
Se mer >> Send forespørsel >>
Tantal karbid tac belagt halvmoon

Tantal karbid tac belagt halvmoon

Halfmoon -deler belagt med CVD TAC -belegg, er mer holdbart enn SiC -belagte halvmonedeler pris. Du er velkommen til å besøke fabrikken vår for videre diskusjon om et langsiktig samarbeid.
Se mer >> Send forespørsel >>
Som profesjonell Tantalkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å imøtekomme de spesifikke behovene i regionen din eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Tantalkarbidbelegg laget i Kina, kan du gi oss en melding.
Nyhetsanbefalinger
Hvilket måleutstyr er det i Fab -fabrikken? - Vetek Semiconductor
Hvilket måleutstyr er det i Fab -fabrikken? - Vetek SemiconductorSe mer >>
Prinsipper og teknologi for fysisk dampavsetningsbelegg (1/2) - Vetek halvleder
Prinsipper og teknologi for fysisk dampavsetningsbelegg (1/2) - Vetek halvlederSe mer >>
Hva er forskjellen mellom silisiumkarbid og tantal karbidbelegg?
Hva er forskjellen mellom silisiumkarbid og tantal karbidbelegg?Se mer >>
Påføring av TaC-belagte grafittdeler i enkeltkrystallovner
Påføring av TaC-belagte grafittdeler i enkeltkrystallovnerSe mer >>
Hva er Tantalum -karbid (TAC)？
Hva er Tantalum -karbid (TAC)？Se mer >>
De tre beste leverandørene av kvartsmateriell i verden
De tre beste leverandørene av kvartsmateriell i verdenSe mer >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept