Hvordan velge MOCVD -grafittbrett?

Spørsmål 1: Hva er MOCVD -grafittbrett, og hvorfor er det så viktig for den epitaksiale prosessen?

Metallorganisk kjemisk dampavsetning (MOCVD) grafittplate, også kjent som MOCVD-grafittbrett eller MOCVD-grafitt-sensekter, er en høy-renhetskomponent som brukes til å fikse halvlederskiver under epitaksial vekst. I den epitaksiale prosessen fungerer den som et varmeelement og sikrer ensartet temperaturfordeling, som spiller en uerstattelig rolle i å deponere tynne filmer i applikasjoner som avanserte halvlederenheter, LED -produksjon og solceller.

Grafittbrett tåler ekstreme temperaturer (opptil 1800 ° C) og etsende gassmiljøer, noe som gjør det til et uunnværlig materiale for høye temperaturer, korrosjonsbestandige MOCVD-systemer. Ytelsen påvirker direkte prosesskonsistens og skiveutbytte.

Spørsmål 2: Hvilke materialegenskaper skal prioriteres når du velger MOCVD -grafittbrett?

Å velge riktig grafittplate krever evaluering av dens fysiske og kjemiske egenskaper:

● Høy renhet (over 99.999%):

Vanligvis kan urenheter som metaller eller aske forurense den epitaksiale prosessen. Å velge en leverandør av høy renhetsgrafittmottaker som Veteksemicon sikrer minimale defekter i halvlederpilagen.

●  Utmerket termisk stabilitet:

Under faktisk prosessering må grafittplater tåle visse termiske støt og opprettholde strukturell integritet under raske temperatursykluser. Veteksemicon grafitt med høy tetthet sikrer ensartet varmefordeling, noe som er kritisk for ensartet filmvekst.

●  Utmerket korrosjonsmotstand:

I MOCVD -prosessmiljøet blir grafitt generelt utsatt for etsende gasser (f.eks. Ammoniakk, hydrogen). Korrosjonsbestandige MOCVD-grafittplater med høy temperatur med finkornet struktur minimerer korrosjon og forlenger levetiden.

●  Mekanisk styrke med høy ytelse:

I den epitaksiale prosessen må MOCVD -grafittbrett støtte flere skiver uten skjevhet. I henhold til Veteksemicons statistikk i faktisk behandling, må bøyestyrken til grafittplaten være ≥50 MPa for å forhindre sprekker av brettet.

Q3: Hvordan påvirker applikasjonsscenariet valget av MOCVD -grafittbrett?

Ulike MOCVD -prosesser krever skreddersydd grafittplate -design:

●  Epitaksial vekst av LED/fotonikk:

Ultra-glidende MOCVD-grafittplater brukes i epitaxy-prosessen for å redusere partikkelgenerering og sikre defektfrie lag.

For eksempel er Veteksemicon MOCVD -grafittplater (eller Veteksemicon grafittplater for MOCVD) designet for GaN og GaAS epitaxy og gir optimalisert termisk styring.

●  Power Semiconductor Manufacturing:

Kombinert med Semikera Semiconductors eksperimentelle statistikk, er plater med økt oksidasjonsresistens generelt foretrukket for silisiumkarbid (SIC) eller galliumnitrid (GaN) prosesser.

●  Produksjon med høy gjennomstrømning:

Multi-wafer-skuffer krever presis prosessering for å samkjøre med reaktordesignet. Tilpassbare MOCVD -grafittbrett fra pålitelige leverandør Semikera Semiconductor kan samsvare med spesifikke verktøykonfigurasjoner.

Q4: Hva er de viktigste hensynene for å finne en pålitelig MOCVD -grafittplateleverandør?

●  Sertifisering og testing:

Kontroller at leverandøren gir materialsertifisering (f.eks. Renhetsrapport, tetthetstest) og gir overflatebehandling etter prosessering (f.eks. Belegg for å redusere porøsitet). Som en ledende kinesisk halvlederbelegg og produsent av epitaksial prosessutstyr, er Veteksemicon MOCVD -grafittplater blitt sertifisert av regjeringsavdelinger for strenge grenseeksperimenter, og resultatene av renhet og tetthet er langt foran sine jevnaldrende.

●  Tilpasningsfunksjoner:

Topp leverandører av grafittmottakere med høy renhet bør tilpasse størrelsen, hullmønsteret og belegget for å oppfylle reaktorkravene dine. Både Veteksemicon og Semikera Semiconductor har tilpasningstjenestefunksjonene til relaterte produkter og teknologier, og er fullt i stand til å imøtekomme dine forskjellige tilpassede behov.

●  Levetid og kostnadseffektivitet:

Mens billigere grafitt kan spare forhåndskostnader, vil underordnede grafittplater føre til hyppig erstatning og driftsstans, og alvorlig påvirke normal produksjonseffektivitet. Å velge Veteksemicon grafittplater og andre kvalitetsprodukter vil gjøre det mulig for virksomheten din å oppnå langsiktig pålitelig produksjon.

Q5: Hvordan forlenge levetiden til MOCVD -grafittbrett?

●  Forhindre oksidasjon: Bruk inert gasspurning under oppvarmings-/kjølesykluser.

●  Rengjør regelmessig: Bruk ikke-slipende metoder (for eksempel tørr etsing) for å fjerne avsatte rester.

●  Unngå mekanisk stress: Håndter brettet forsiktig under skivebelastning/lossing.

Veteksemicons beste råd til deg:

For MOCVD-grafittplater som er motstandsdyktige mot korrosjon med høy temperatur, prioriterer leverandører med ekspertise innen halvledermaterialer.

Test prøver under faktiske prosessforhold for å bekrefte ytelsen.

Utforsk avanserte belegg (for eksempel SIC -belegg, TAC -belegg) for å forbedre holdbarheten og påliteligheten i ekstreme miljøer.

Klikk her for mer informasjon om SIC -belegg MOCVD -grafittplate.

Klikk her for mer informasjon om TAC -belegg MOCVD -grafittplate.