MOCVD Susceptor med TaC-belegg

VETEK Semiconductor er en ledende kinesisk produsent, leverandør og eksportør som spesialiserer seg på MOCVD -sensekter medTAC -belegg. Du er velkommen til å komme til fabrikken vår for å kjøpe de siste salgs-, lavpris- og høykvalitets MOCVD-susceptorer med TaC-belegg. Vi ser frem til å samarbeide med deg.

LED-epitaksi møter utfordringer som krystallkvalitetskontroll, materialvalg og matching, strukturell design og optimalisering, prosesskontroll og konsistens, og lysutvinningseffektivitet. Å velge riktig epitaksisk wafer-bærermateriale er avgjørende, og belegg det med tantalkarbid (TaC) tynnfilm (TaC-belegg) gir ytterligere fordeler.

Når du velger et epitaksisk wafer-bærermateriale, må flere nøkkelfaktorer vurderes:

● Temperaturtoleranse og kjemisk stabilitet: LED -epitaksiprosesser involverer høye temperaturer og kan innebære bruk av kjemikalier. Derfor er det nødvendig å velge materialer med god temperaturtoleranse og kjemisk stabilitet for å sikre bærerien til bæreren i høye temperaturer og kjemiske miljøer.

● Flathet og slitestyrke: Overflaten på epitaksiflate-bæreren bør ha god flathet for å sikre jevn kontakt og stabil vekst av epitaksi-waferen. I tillegg er slitestyrke viktig for å forhindre overflateskader og slitasje.

● Termisk ledningsevne: Å velge et materiale med god termisk ledningsevne hjelper til med å spre varme effektivt, opprettholde en stabil veksttemperatur for epitaksilaget og forbedre prosessstabilitet og konsistens.

I denne forbindelse tilbyr det å belegge Epitaxy Wafer -transportøren med TAC følgende fordeler:

● Høy temperatur stabilitet: TaC-belegg viser utmerket stabilitet ved høye temperaturer, slik at det opprettholder strukturen og ytelsen under epitaksiprosesser ved høye temperaturer og gir overlegen temperaturtoleranse.

● Kjemisk stabilitet: TAC -belegg er motstandsdyktig mot korrosjon fra vanlige kjemikalier og atmosfærer, og beskytter bæreren mot kjemisk nedbrytning og forbedrer holdbarheten.

● Hardhet og slitasje motstand: TaC-belegg har høy hardhet og slitestyrke, som styrker overflaten av epitaksisk wafer-bæreren, reduserer skader og slitasje og forlenger levetiden.

● Termisk ledningsevne: TaC-belegg demonstrerer god termisk ledningsevne, hjelper til med varmespredning, opprettholder en stabil veksttemperatur for epitaksilaget, og forbedrer prosessstabilitet og konsistens.

Derfor er det å velge en epitaxy wafer-transportør med et TAC-belegg med å takle utfordringene med LED-epitaxy, og oppfyller kravene til høye temperaturer og kjemiske miljøer. Dette belegget gir fordeler som høye temperaturstabilitet, kjemisk stabilitet, hardhet og slitestyrke og termisk ledningsevne, og bidrar til forbedret ytelse, levetid og produksjonseffektivitet av Epitaxy Wafer-transportøren.