TAC beleggsveiledning Ring

VeTek Semiconductor er en profesjonell Kina TaC Coating Guide Ring, TaC coating Crucible, frøholder produsent og leverandør.

TaC-belegg Digel, frøholder og TaC-belegg guidering i SiC og AIN enkrystallovn ble dyrket ved PVT-metoden.

Når den fysiske damptransportmetoden (PVT) brukes til å fremstille SIC, er frøkrystallen i det relativt lave temperaturområdet, og SIC -råstoffet er i det relativt høye temperaturområdet (over 2400 ℃). Råstoffdekomponering produserer sekscy (hovedsakelig inkludert Si, Sic₂, Si₂c, etc.). Dampfasematerialet transporteres fra det høye temperaturområdet til frøkrystallen i lavtemperaturområdet, og kjerner og vokser. Å danne en enkelt krystall. De termiske feltmaterialene som ble brukt i denne prosessen, for eksempel Crucible, Flow Guide Ring, frø krystallholder, skal være motstandsdyktig mot høy temperatur og vil ikke forurense SIC råvarer og SIC enkeltkrystaller. Tilsvarende må varmeelementene i veksten av ALN enkeltkrystaller være motstandsdyktige mot Al -damp, N₂ -korrosjon, og må ha en høy eutektisk temperatur (og ALN) for å forkorte krystallforberedelsesperioden.

Det ble funnet at SiC og AlN fremstilt av TaC-belagte grafitt termiske feltmaterialer var renere, nesten ingen karbon (oksygen, nitrogen) og andre urenheter, færre kantdefekter, mindre resistivitet i hver region, og mikroporetettheten og etsegroptettheten var betydelig redusert (etter KOH-etsing), og krystallkvaliteten ble kraftig forbedret. I tillegg er vekttaphastigheten for TaC-digelen nesten null, utseendet er ikke-destruktivt, kan resirkuleres (levetid opptil 200 timer), kan forbedre bærekraften og effektiviteten til slike enkeltkrystallpreparater.

Produktparameter for TAC -beleggingsguiden:

Produksjonsbutikker:

Oversikt over industrikjeden for halvlederbrikkeepitaxy: