Produkter

Quartz-dusjhodet, også kjent som en kvartsgassfordelingsplate, er en kritisk komponent brukt i halvleder tynnfilmavsetningsprosesser som CVD (kjemisk dampavsetning), PECVD (plasma-forbedret CVD) og ALD (atomlagsdeposisjon). Denne komponenten er laget av høy renhet smeltet kvarts, og sikrer ultra-lav forurensning og utmerket termisk stabilitet, noe som muliggjør presis gasslevering og ensartet filmvekst over skiveoverflaten. Ser frem til din videre konsultasjon.

Våre TAC-belagte grafittguide-ringer er presisjonskjernekomponenter for produksjon av halvleder wafer. De har et grafittunderlag med høy renhet belagt med et slitasjebestandig og kjemisk inert tantalkarbid (TAC) belegg. De er designet for krevende prosesser som epitaksial avsetning og plasma -etsing, og sikrer presis skiveinnretting og stabilitet, effektivt kontrollerer forurensning og forlenger levetiden betydelig. Veteksemicon tilbyr tilpasningstjenester for å samsvare med utstyret og prosesskravene dine perfekt.

Veteksemicon Semiconductor Quartz-skjermen er en viktig komponent i metallorganiske kjemiske dampavsetning (MOCVD) -systemer, og spiller en avgjørende rolle i å optimalisere tynnfilmvekstprosesser. Denne produktdetaljsiden fremhever Veteksemicons skjermbilder med høy renhet, designet for å forbedre ensartetheten, renhet og vedlikeholdseffektiviteten til MOCVD-utstyr.

Crucible med høy renhet er essensiell kjernekomponent i avanserte halvlederproduksjonsprosesser, spesielt for applikasjoner som krever ekstremt høy termisk stabilitet, kjemisk renhet og dimensjonal nøyaktighet. Veteksemicon tilbyr overlegen høye renhetskvarts digler designet for å oppfylle de ekstreme kravene til halvlederprosesser.

Den porøse Sic keramiske chuck av Veteksemicon er en presisjons-konstruert vakuumplattform designet for sikker og partikkelfri wafer-håndtering i avanserte halvlederprosesser som etsing, ionimplantasjon, CMP og inspeksjon. Produsert av porøst silisiumkarbid med høy renhet gir enestående termisk konduktivitet, kjemisk motstand og mekanisk styrke. Med tilpassbare porestørrelser og dimensjoner, leverer Veteksemicon skreddersydde løsninger for å oppfylle de strenge kravene til rentromsbehandlingsmiljøer.

Våre kvartsbåter er skiveoppføringsoppløsning med høy renhet skreddersydd for halvleder-, LED-, solcelle- og batteriproduksjonsprosesser. Denne kvartsbåten er konstruert for å tåle høye temperaturer og kjemisk aggressive miljøer, og har lav termisk ekspansjon, utmerket elektrisk isolasjon og langsiktig dimensjonsstabilitet. Ideell for diffusjons-, oksidasjons- og LPCVD -prosesser, den støtter presis skiveinnretting og er tilgjengelig i forskjellige størrelser for å oppfylle forskjellige utstyrskrav.