Produkter

Veteksemicon Semiconductor Quartz-skjermen er en viktig komponent i metallorganiske kjemiske dampavsetning (MOCVD) -systemer, og spiller en avgjørende rolle i å optimalisere tynnfilmvekstprosesser. Denne produktdetaljsiden fremhever Veteksemicons skjermbilder med høy renhet, designet for å forbedre ensartetheten, renhet og vedlikeholdseffektiviteten til MOCVD-utstyr.

Crucible med høy renhet er essensiell kjernekomponent i avanserte halvlederproduksjonsprosesser, spesielt for applikasjoner som krever ekstremt høy termisk stabilitet, kjemisk renhet og dimensjonal nøyaktighet. Veteksemicon tilbyr overlegen høye renhetskvarts digler designet for å oppfylle de ekstreme kravene til halvlederprosesser.

Den porøse Sic keramiske chuck av Veteksemicon er en presisjons-konstruert vakuumplattform designet for sikker og partikkelfri wafer-håndtering i avanserte halvlederprosesser som etsing, ionimplantasjon, CMP og inspeksjon. Produsert av porøst silisiumkarbid med høy renhet gir enestående termisk konduktivitet, kjemisk motstand og mekanisk styrke. Med tilpassbare porestørrelser og dimensjoner, leverer Veteksemicon skreddersydde løsninger for å oppfylle de strenge kravene til rentromsbehandlingsmiljøer.

Våre kvartsbåter er skiveoppføringsoppløsning med høy renhet skreddersydd for halvleder-, LED-, solcelle- og batteriproduksjonsprosesser. Denne kvartsbåten er konstruert for å tåle høye temperaturer og kjemisk aggressive miljøer, og har lav termisk ekspansjon, utmerket elektrisk isolasjon og langsiktig dimensjonsstabilitet. Ideell for diffusjons-, oksidasjons- og LPCVD -prosesser, den støtter presis skiveinnretting og er tilgjengelig i forskjellige størrelser for å oppfylle forskjellige utstyrskrav.

Veteksemicon Sic Cantilever-padler er silisiumkarbidstøttearmer med høy renhet designet for håndtering av skive i horisontale diffusjonsovner og epitaksiale reaktorer. Med eksepsjonell termisk ledningsevne, korrosjonsmotstand og mekanisk styrke sikrer disse padlene stabilitet og renslighet i krevende halvledermiljøer. Tilgjengelig i tilpassede størrelser og optimalisert for lang levetid.

Veteksemicons SIC-blokkering er designet for høyeffektive sliping og tynning av silisium- og safirskiver. Med utmerket termisk ledningsevne (≥120 W/m · K), høy termisk støtmotstand og overlegen slitemotstand (MOHS ≥9), forbedrer våre blokkeringsprosessstabilitet og reduserer verktøyets endringsfrekvens. Tilgjengelig i størrelser fra 120 mm til 480 mm, med tilpassede alternativer og rask levering for å dekke forskjellige produksjonsbehov.