Fra produksjonsprosessen med elektrostatiske sugekopper til masseproduksjonsprodusenter

Dechuck -prinsippet forElektrostatisk chucker en sentral del av arbeidsflyten som innebærer eliminering av elektrostatisk kraft og fronningsmekanismer for skivefrigjøring. Følgende er en detaljert analyse:

Dechucks kjerne er å eliminere eller nøytralisere den elektrostatiske kraften adsorbert på skiven, og de spesifikke metodene inkluderer:

Youdaoplaceholder0 kuttet av strømmen

Slutt å bruke en likestrømspenning på elektroden for gradvis eliminere det elektriske feltet.

YOUDAOPLACEHolder0 omvendt spenning eller gassinjeksjon ‌

Noen systemer vil påføre omvendt spenning eller introdusere inerte gasser (som han, n₂) for å akselerere ladningsnøytralisering eller fysisk separasjon.

La oss sammenligne de profesjonelle teknikkene for ESC -produksjon og først se om selskapet kan nå en slik skala.

CAE -analyseteknologi, platefunksjonsmaterialer, elektrodeutforming, analyseteknologi, kjølingskanaleknologi, varmeapparatdesignteknologi, seniorpersonell i halvlederutstyr.

Japanske og sørkoreanske selskaper må være fullt bemannet med slikt relevant personell. Hvis ikke, er det ikke nødvendig å snakke om selskapets teknologi.

Chuck -teknologien, elektrodene, platene og til og med HE Flow -prinsippet har ikke blitt avklart ennå. La oss lage en grov elektrostatisk sugekopp. Slike selskaper blir direkte videreført. De er i utgangspunktet vant til å tøyle investorenes penger. Dette er det grunnleggende nivået for å vite hvordan. Investorer bør også gi opp et selskap som spiller med kortspill og har ingen ansatte med over 10 års erfaring med etsningsutstyr, fordi dette ikke er et selskap som gjør praktiske ting.

Når det gjelder pulverskyting i bransjen, er alle i samme felt. Hver har sin egen unike formel. Hvilken har ikke styrken til å være utstyrt med sintret keramiske overflater? Investorer kan også videreføre disse konfigurasjonene eller selskapene som ikke har forstått dem fullt ut, fordi deres grunnleggende logikk er den samme: de tar sikte på å tjene penger, ikke å utvikle produkter.

Når det gjelder reparasjon, bør mange innenlandske selskaper ha de tilsvarende mulighetene for L1 til L3 nå. Selv om mulighetene mangler litt, kan L1 fremdeles håndtere det. For L3 og over kan det ikke repareres, eller det kan underleveres. I alle fall er det fortsatt en måte å reparere den på.

L1 Reparasjonsreparasjon, reparasjon av overflateuhet/flathetsforbedring/BUMP -regenerering.

L2 Reparasjon: REPARASJON, REBONDING AV METAL BASE og keramisk skive/omfylling av leddlag.

L3 Reparasjon av keramisk diskstatning, keramisk diskproduksjon/rebonding av metallbase og keramisk disk.

Guangdong Haituo Innovation Precision Equipment Technology Co., Ltd

Selskapet har en ledende posisjon i utformingen og produksjonen av innenlandske elektrostatiske chucks og utstyr basert på elektrostatiske chucks som kjerneteknologi. For tiden har Haituo Innovation oppnådd kommersiell produksjon av elektrostatiske sugekopper og har fullført levering av 4-tommers til 12-tommers halvleder Fab Electrostatic Chucks.

Beijing Huazhuo Jingke Technology Co., Ltd

De elektrostatiske sugekoppene uavhengig utviklet av selskapet overholder de relevante standardene og behandlingenKrav fra halvlederindustrien. Den 12-tommers PVD-aluminiumnitridelektrostatiske sugekopper utviklet i det tidlige stadiet har til en viss grad ødelagt det langsiktige monopolet til utenlandske produsenter i dette produktfeltet. For tiden har Huazhuo Jingke brukt den relaterte teknologien til elektrostatiske sugekopper på produktproduksjon og oppnådd småskala masseproduksjon. Det kan også tilby tilpassede produkter for kunder.

Grunnlagt i 2016, er en ledende leverandør av avanserte beleggmaterialer for halvlederindustrien. Grunnleggeren vår, en tidligere ekspert fra Chinese Academy of Sciences 'Institute of Materials, etablerte selskapet med fokus på å utvikle nyskapende løsninger for industrien.

Våre viktigste produkttilbud inkluderer CVD-silisiumkarbid (SIC) belegg, tantalkarbid (TAC) belegg, bulk SIC, SIC-pulver og SIC-materialer med høy renhet. Hovedproduktene er SIC -belagte grafittmottar, forvarmingsringer, TAC -belagt avledningsring, halvmonedeler, etc., Renheten er under 5 ppm, kan oppfylle kundens krav.

Zhejiang Xinna Materials Technology Co., Ltd

De elektrostatiske sugekoppproduktene som er utviklet av IT har ytelsesindikatorer som kan oppfylle kravene til ChIP -produksjonsbedrifter. De har enestående egenskaper som kontrollerbar temperatur, ensartet adsorpsjonskraft, ingen riper eller rynker under adsorpsjon, og ingen eksklusjonseffekt på kant på skiver. De har blitt sertifisert av ledende innenlandske halvlederindustriforetak som Yangtze Memory Technologies, Silan Microelectronics og North China Innovation og har oppnådd salg. Det har brutt monopolet til utenlandske produsenter i dette produktfeltet.

Hebei Zhongci Electronic Technology Co., Ltd

I 2022 foretok selskapet strategiske trekk innen presisjons keramiske komponenter, og oppnådde lokalisering av svært tekniske presisjonsdeler som oppvarmingsplater og elektrostatiske chucks. De kjernetekniske indikatorene på de keramiske oppvarmingsplatene utviklet av Zhongci Electronics har nådd nivået av lignende internasjonale produkter og har blitt bekreftet av brukere. De har blitt brukt i partier i viktige innenlandske halvlederutstyr. Keramiske oppvarmingsplater er blitt levert i bulk, og elektrostatiske chucks er sendt for prøvetesting.