Ugjennomsiktig kvartsskjold og lukker med høy renhet for MOCVD

1. Tekniske spesifikasjoner

Vi tilbyr høypresisjonsmaskinering basert på dine tekniske tegninger for å sikre en perfekt passform med dine spesifikke utstyrsmodeller.

2. Kjerneapplikasjonsfelt

● MOCVD-prosessbeskyttelse: Fungerer som essensielle interne skjold/foringer for å beskytte reaksjonsmiljøet.

● Halvlederepitaksi: Brukes som høypresisjonsskodder for strømnings- og temperaturstabilisering under tynnfilmvekst.

● Halvlederproduksjon med brede bånd: Kompatibel med miljøer med høy etterspørsel for GaN og andre avanserte materialer.

3. Hvorfor velge VETEK Quartz Solutions?

● Overlegen termisk strålingshåndtering: Vår melkehvite kvarts inneholder en høy tetthet av mikrobobler som effektivt sprer og blokkerer høytemperatur termisk stråling (>1000°C). Den absorberer synlig og nær-infrarødt lys fra varmeelementer og konverterer det til fjerninfrarød stråling, noe som sikrer en svært jevn oppvarming.
● Kontamineringskontroll og enkelt vedlikehold: Som en ofrende eller utskiftbar indre foring holder Quartz Shield reaksjonskammeret rent ved å forhindre avsetning av biprodukter på dyre kammervegger og varmeovner. Disse delene kan regenereres gjennom våtrengjøring (som SPM+DHF-løsninger) eller enkelt byttes ut for å sikre høye wafer-utbytte.
● Ekstrem kjemisk motstand: VETEK kvarts er konstruert for å tåle hyppige termiske sykluser og motstå korrosjon fra metallorganiske stoffer (som TMGa) og hydrider (som AsH₃).
● Presisjonsprosesskontroll: Våre Quartz Shutters opprettholder høy dimensjonsstabilitet under infrarød eller filamentoppvarming. Deres lave termiske treghet tillater rask mekanisk respons, muliggjør presis vekstkontroll på "atomnivå" og forhindrer krysskontaminering under multi-wafer eller multi-prosessbytting.
● Kostnadseffektivt alternativ: For prosjekter med strenge budsjettkrav gir kvartsproduktene våre et pålitelig inngangspunkt sammenlignet med belagt grafitt, og tilbyr essensiell beskyttelse og funksjonalitet for MOCVD-systemer.