TAC -belagt grafittstøtte

Du er velkommen til å komme til fabrikken vår VeTek Semiconductor for å kjøpe den siste salgs-, lavpris- og høykvalitets TaC Coated Graphite Susceptor. Vi ser frem til å samarbeide med deg.

Tantal karbid keramisk materiale smeltepunkt opp til 3880 ℃, er et høyt smeltepunkt og god kjemisk stabilitet av forbindelsen, det høye temperaturmiljøet kan fremdeles opprettholde stabil ytelse, i tillegg har den også høy temperaturmotstand, kjemisk korrosjonsbestandighet, god kjemisk og mekanisk kompatibilitet med karbonmaterialer og andre egenskaper, noe som gjør det til et ideelt grafittsubstratbeskyttende beleggmateriale. Tantal -karbidbelegget kan effektivt beskytte grafittkomponentene mot påvirkning av varm ammoniakk, hydrogen og silisiumdamp og smeltet metall i det harde bruksmiljøet, utvider levetiden til grafittkomponentene betydelig og hemmer migrasjonen av urenheter i grafitten, sikre kvaliteten på epitaksi og krystallvekst. Den er hovedsakelig brukt i våt keramisk prosess.

Kjemisk dampavsetning (CVD) er den mest modne og optimale preparatmetoden for tantal karbidbelegg på overflaten av grafitt.

CVD TaC-beleggmetode for TaC-belagt grafittsusceptor:

Belegningsprosessen bruker TaCl5 og propylen som henholdsvis karbonkilde og tantalkilde, og argon som bæregass for å bringe tantalpentakloriddamp inn i reaksjonskammeret etter høytemperaturgassing. Under måltemperaturen og -trykket blir dampen til forløpermaterialet adsorbert på overflaten av grafittdelen, og en rekke komplekse kjemiske reaksjoner som spaltning og kombinasjon av karbonkilde og tantalkilde oppstår. Samtidig er en rekke overflatereaksjoner som diffusjon av forløperen og desorpsjon av biprodukter også involvert. Til slutt dannes et tett beskyttende lag på overflaten av grafittdelen, som beskytter grafittdelen mot å være stabil under ekstreme miljøforhold. Bruksscenarioene for grafittmaterialer er betydelig utvidet.

Produktparameter for TaC Coated Graphite Susceptor:

Produksjonsbutikker:

Oversikt over industrikjeden for halvlederbrikkeepitaxy: