TAC beleggring

VeTek semiconductors TaC Coating Ring er laget av høykvalitets grafitt og belagt med tantalkarbid (TaC), et materiale kjent for sine overlegne egenskaper, er en uunnværlig komponent i halvlederwafer-behandling.

De viktigste funksjonene og fordelene med Vetek Semiconductor TAC -beleggring:

● Høy termisk stabilitet: En av de fremtredende trekkene ved tantal karbidbeleggingsring er dens evne til å motstå høye temperaturer, en kritisk faktor i halvlederetsing. SIC -etsingsprosessen innebærer eksponering for forhøyede temperaturer og reaktive gasser, og tantalkarbidbelegget sikrer at ringen forblir stabil og beholder sin strukturelle integritet selv under disse tøffe forhold. Denne termiske motstandskraften sikrer at komponenten fortsetter å utføre optimalt over lengre perioder.

● Forbedret mekanisk styrke: Kombinasjonen av grafitt- og TAC-belegg med høy styrke resulterer i en komponent med forbedrede mekaniske egenskaper, noe som gjør TAC-belagte ringen svært motstandsdyktig mot slitasje. Den mekaniske styrken er avgjørende for å holde SIC -skiver godt på plass, sikre nøyaktig etsing og forhindre deformasjon under prosessen.

● Kjemisk korrosjonsbestandighet: I halvlederprosesser som SiC-etsing blir komponenter ofte utsatt for aggressive kjemikalier og reaktive gasser. Tantalkarbidbelegget gir utmerket beskyttelse mot korrosjon, forlenger levetiden til ringen betydelig og minimerer behovet for hyppige utskiftninger. Denne motstanden er spesielt viktig i etseprosessen, hvor komponentene er i konstant kontakt med kjemisk reaktive stoffer.

●  Superior CoatiTaC-belegg for forbedret ytelse: Tantal karbidbelegg på grafittringen gir en robust overflate som forbedrer den generelle ytelsen til komponenten. Tantal -karbid er kjent for sitt høye smeltepunkt (ca. 3,880 ° C) og dens utmerkede motstand mot kjemiske reaksjoner, spesielt i de aggressive miljøene som vanligvis oppstår under produksjonsprosesser for halvleder. Dette tantal -karbidbelegget forbedrer levetiden til produktet betydelig, og gir overlegen holdbarhet sammenlignet med ikke -belagte grafittringer.

● Forbedret mekanisk styrke: Kombinasjonen av grafitt- og TAC-belegg med høy styrke resulterer i en komponent med forbedrede mekaniske egenskaper, noe som gjør TAC-belagte ringen svært motstandsdyktig mot slitasje. Den mekaniske styrken er avgjørende for å holde SIC -skiver godt på plass, sikre nøyaktig etsing og forhindre deformasjon under prosessen.

Som en ledende TAC Coating Ring -leverandør, produsent og fabrikk i Kina, har Vetek Semiconductor lenge vært forpliktet til å tilby avanserte TAC -beleggningsprodukter og tekniske løsninger for halvlederbehandlingsindustrien, og støtter tilpassede produkttjenester. Veteksemi ser oppriktig frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Fysiske egenskaper til TaC-belegg

VeTek semiconductors TaC Coating Ring-produktbutikker