Hva er en PECVD -grafittbåt?

Ⅰ. Hva er materialet til PECVD -grafittbåt?

Kjernematerialet tilPECVD Graphite Boat(Plasmaforbedret kjemisk dampavsetning grafittbåt) er laget av høy renhetIsotropisk grafittmateriale(Renhet er vanligvis ≥99.999%), og modifiseres ved spesielle prosesser (for eksempel kjemisk dampavsetning CVD eller overflatebelegg). Grafitt med høy renhet er mye brukt i PECVD-systemer på grunn av sin utmerkede elektriske ledningsevne og høy termisk ledningsevne (80 ~ 150 W/m · K). DetteGrafittmateriale med høy renhetkan opprettholde god strukturell stabilitet og kjemisk stabilitet i miljøer med høy temperatur, og kan motstå korrosjon fra reaktive gasser og plasma.

Ⅱ. Hva er de fysiske egenskapene til grafittbåt?

De fysiske egenskapene til PECVD -grafittbåter inkluderer:

● Elektrisk konduktivitet: Isostatisk grafitt har utmerket elektrisk ledningsevne, noe som gjør det mulig å håndtere elektrisk energi og fremme generering og vedlikehold av plasma under PECVD -prosessen.

●  Termisk konduktivitet: Den høye termiske konduktiviteten til grafitt (ca. 80 ~ 150 W/m · K) hjelper til med å opprettholde et stabilt temperaturmiljø under PECVD -prosessen og sikre ensartet avsetning av tynne filmer.

●  Tetthet: Tettheten av kommersiell polykrystallinsk grafitt varierer fra 1,30 g/cm³ til 1,88 g/cm³. Jo høyere tetthet, jo bedre er de fysiske og mekaniske egenskapene, noe som kan forbedre levetiden til produktet.

Ⅲ. Hva er fordelene med PECVD -grafittbåt sammenlignet med vanlig grafittbåt?

Sammenlignet med vanlige grafittbåter, har PECVD -grafittbåter følgende fordeler:

Ⅳ. Hvorfor velge Veteksemicons PECVD -grafittbåt?

Som vi alle vet, er Veteksemicon en ledende produsent og leverandør av halvlederbeleggprodukter ogGrafittprodukteri Kina. VårPECVD -grafittbåterbrukes hovedsakelig i halvleder- og solcelleindustrien, spesielt i PECVD- og CVD -prosesser.

Grafittbåter brukes vanligvis som bærere for å frakte silisiumskiver eller andre materialer for å sikre sikker håndtering og transport av disse materialene i høye temperaturer og plasmamiljøer. For eksempel, i halvlederproduksjonsprosessen, er Veteksemicons PECVD -grafittbåter designet for plasmaforbedrede kjemiske dampavsetningsprosesser. Grafittbåten spiller rollen som avsetning av silisiumnitrid (sinₓ) passiveringslag og lav dielektrisk konstant (lav-K) filmer.

I det fotovoltaiske feltet brukes PECVD-grafittbåter til å fremstille silisiumbaserte tynnfilm-solceller (for eksempel amorft silisium A-Si: H) og perc celle tilbake passiveringslag. Veteksemicons PECVD -grafittbåt optimaliserer beleggprosessen ved å effektivt avstand til silisiumskiver og indusere glødutladning for å oppnå ensartet beleggavsetning.

Enda viktigere er at Veteksemicon kan tilby tilpassede produkter og tekniske tjenester, og kan designe og produsere grafittbåtprodukter med forskjellige spesifikasjoner i henhold til dine faktiske prosesskrav. Å velge Veteksemicon betyr å velge en bransjeleder med sterk styrke i halvleder- og fotovoltaiske næringer. Vi ser oppriktig frem til å bli din langsiktige partner.