Produkter
Cvd sic fokusring
  • Cvd sic fokusringCvd sic fokusring

Cvd sic fokusring

Vetek Semiconductor er en ledende innenlandsk produsent og leverandør av CVD SIC-fokuseringer, dedikert til å tilby høyytelses, høye pålitelighetsproduktløsninger for halvlederindustrien. Vetek Semiconductors CVD SIC -fokuseringer bruker avansert kjemisk dampavsetning (CVD) -teknologi, har utmerket høy temperaturmotstand, korrosjonsmotstand og termisk ledningsevne, og er mye brukt i halvlederlitografiprosesser. Dine henvendelser er alltid velkomne.

Som grunnlaget for moderne elektroniske enheter og informasjonsteknologi, har halvledeteknologi blitt en uunnværlig del av dagens samfunn. Fra smarttelefoner til datamaskiner, kommunikasjonsutstyr, medisinsk utstyr og solceller, nesten alle moderne teknologier er avhengige av fremstilling og anvendelse av halvlederenheter.


Ettersom kravene til funksjonell integrasjon og ytelse av elektroniske enheter fortsetter å øke, utvikler halvlederprosessteknologien også stadig og forbedrer seg. Som kjernelink i halvledeteknologi, bestemmer etsningsprosessen direkte strukturen og egenskapene til enheten.


Etsningsprosessen brukes til å fjerne eller justere materialet nøyaktig på overflaten av halvlederen for å danne ønsket struktur og kretsmønster. Disse strukturene bestemmer ytelsen og funksjonaliteten til halvlederenheter. Etsningsprosessen er i stand til å oppnå presisjon på nanometernivå, som er grunnlaget for å produsere høye tetthet, høyytelses integrerte kretsløp (ICS).


CVD SIC Focus Ring er en kjernekomponent i tørr etsing, hovedsakelig brukt til å fokusere plasma for å få den til å ha høyere tetthet og energi på skiveoverflaten. Den har funksjonen til jevn distribusjon av gass. Vetek Semiconductor vokser SIC lag for lag gjennom CVD -prosessen og oppnår til slutt CVD SIC -fokusringen. Den forberedte CVD SIC -fokusringen kan perfekt oppfylle kravene i etsingsprosessen.


CVD SiC Focus Ring working diagram

CVD SIC Focus Ring er utmerket i mekaniske egenskaper, kjemiske egenskaper, termisk ledningsevne, høye temperaturmotstand, ionetsetsemotstand, etc.


● Høy tetthet reduserer etsningsvolumet

● Høyt båndgap og utmerket isolasjon

● Høy termisk ledningsevne, lav ekspansjonskoeffisient og varmesjokkmotstand

● Høy elastisitet og god mekanisk påvirkningsmotstand

● Høy hardhet, slitasje motstand og korrosjonsmotstand


Vetek Semiconductor har de ledende CVD SIC -fokuseringsbehandlingsevnen i Kina. I mellomtiden hjelper Vetek Semiconductors modne tekniske team og salgsteam oss å gi kundene de mest passende fokusringproduktene. Å velge Vetek Semiconductor betyr samarbeid med et selskap som er forpliktet til å skyve grensene forCVD silisiumkarbid innovasjon.


Med sterk vekt på kvalitet, ytelse og kundetilfredshet leverer vi produkter som ikke bare oppfyller, men overstiger de strenge kravene fra halvlederindustrien. La oss hjelpe deg med å oppnå større effektivitet, pålitelighet og suksess i driften din med våre avanserte CVD -silisiumkarbidløsninger.


SEM -data fra CVD SIC -film

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


Grunnleggende fysiske egenskaper ved CVD SIC -belegg

Grunnleggende fysiske egenskaper ved CVD SIC -belegg
Eiendom
Typisk verdi
Krystallstruktur
FCC β -fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
Sic beleggstetthet
3.21 g/cm³
Sic belegghardhet
2500 Vickers Hardness (500g belastning)
Kornstørrelse
2 ~ 10mm
Kjemisk renhet
99.99995%
Varmekapasitet
640 J · kg-1· K.-1
Sublimeringstemperatur
2700 ℃
Bøyestyrke
415 MPa RT 4-punkt
Youngs modul
430 GPA 4pt bøy, 1300 ℃
Termisk konduktivitet
300W · m-1· K.-1
Termisk utvidelse (CTE)
4,5 × 10-6K-1

Det halvlederCVD SIC Focus Ring Products Shops:

Semiconductor process equipmentSiC Coating Wafer CarrierCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment

Hot Tags: Cvd sic fokusring
Send forespørsel
Kontaktinfo
For spørsmål om silisiumkarbidbelegg, tantalkarbidbelegg, spesialgrafitt eller prisliste, vennligst legg igjen din e-post til oss, så tar vi kontakt innen 24 timer.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept