Silisiumkarbid Focus ring

Generell produktinformasjon

Forretningsvilkår for produkter

Søknad: I halvledertørre etseprosesser er fokusringen en nøkkelkomponent som sikrer prosessenhet. Den omgir waferen tett, og ved nøyaktig å kontrollere fordelingen av plasma ved waferkantene, bestemmer den direkte jevnheten og konsistensen av etseprosessen, noe som gjør den til en uunnværlig del av å garantere chiputbytte.

Tjenester som kan leveres: analyse av kundeapplikasjonsscenarioer, matchende materialer, teknisk problemløsning.

Bedriftsprofil: Veteksemicon har 2 laboratorier, et team av eksperter med 20 års materialerfaring, med FoU og produksjon, testing og verifikasjonsmuligheter.

Tekniske parametere

Min rival fokusring kjernefordeler

1. Eksepsjonell materialvitenskap, født for tøffe miljøer

Vårt utvalgte silisiumkarbidmateriale med høy renhet og høy tetthet tåler lett det intense plasmabombardementet og fluorholdig kjemisk gasskorrosjon under SiC-etseprosessen. Dens utmerkede korrosjonsbestandighet oversetter direkte til lengre levetid og lavere komponentutskiftningsfrekvens, og reduserer ikke bare utstyrets nedetid, men reduserer også risikoen for partikkelforurensning forårsaket av komponentslitasje betydelig, og gir deg langsiktig og stabil omfattende kostnadseffektivitet.

2. Nøyaktig ingeniørdesign sikrer konsistent prosess

Hver Veteksemicon fokusring gjennomgår ultrapresisjon CNC-bearbeiding for å sikre at nøkkeldimensjoner som flathet, indre diameter og trinnhøyde oppnår nøyaktighet på mikronnivå, og sikrer perfekt matching med produsenten av originalutstyr (OEM). Vårt ingeniørteam optimaliserer profilen ytterligere ved hjelp av plasmasimulering. Denne utformingen styrer effektivt det elektriske feltet, reduserer unormal etsing ved waferkantene og kontrollerer dermed etsningsensartetheten til hele waferen til et ekstremt nivå.

3. Pålitelig ytelse forbedrer produksjonseffektiviteten

I krevende masseproduksjonsmiljøer realiseres den fulle verdien av produktene våre. Ved å sikre konsentrert og stabil plasmadistribusjon, bidrar Veteksemicon-fokusringen direkte til forbedret etsehastighetsuniformitet og optimalisert batch-til-batch-prosess repeterbarhet. Dette betyr at produksjonslinjen din konsekvent kan levere høyytelsesprodukter, samtidig som den drar fordel av lengre vedlikeholdssykluser, effektivt reduserer forbrukskostnader per wafer og gir deg et betydelig konkurransefortrinn.

4. Økologisk kjedebekreftelse

Min rival focus ring' økologiske kjedeverifisering dekker råvarer til produksjon, har bestått internasjonal standardsertifisering, og har en rekke patenterte teknologier for å sikre pålitelighet og bærekraft i halvleder- og nye energifelt.

For detaljerte tekniske spesifikasjoner, white papers eller eksempler på testordninger, vennligst kontakt vårt tekniske støtteteam for å utforske hvordan Veteksemicon kan forbedre prosesseffektiviteten din.

Min rival produktbutikk