PECVD Graphite Boat

Veteksemicon er en profesjonell Kina PECVD -grafittbåtprodusent og leverandør.

Hva er rollen som Vetek Semiconductors solcelle (belegg) PECVD -grafittbåt?

Som en bærer av normale silisiumskiver produsert av belegningsprosessen, har grafittbåten mange båtskiver med visse intervaller i strukturen, og det er et veldig smalt mellomrom mellom de to tilstøtende båtskaftene, og silisiumskaftene er plassert på begge sider av den tomme døren.

Fordi PECVD -grafittbåtmaterialet grafitt har gode elektriske og termiske konduktivitetsegenskaper, blir vekselstrømspenningen spurt i de to tilstøtende båtene, slik at de to tilstøtende båtene danner positive og negative stolper, når det er et visst trykk og gass i kammeret, glødutladning mellom de to båtene, glød -kanten. Sinx -molekyler dannes og avsirkes på overflaten av silisiumskiven for å oppnå formålet med belegg.

PECVD -grafittbåter brukes vanligvis som bærere for å bære silisiumskiver eller annet materiale for å sikre sikker håndtering og transport av disse materialene i høye temperaturer og plasmamiljøer. For eksempel, i halvlederproduksjonsprosessen, er Veteksemicons PECVD -grafittbåter designet for plasmaforbedrede kjemiske dampavsetningsprosesser. Grafittbåten spiller rollen som avsetning av silisiumnitrid (sinₓ) passiveringslag og lav dielektrisk konstant (lav-K) filmer.

I det fotovoltaiske feltet brukes PECVD-grafittbåter til å fremstille silisiumbaserte tynnfilm-solceller (for eksempel amorft silisium A-Si: H) og perc celle tilbake passiveringslag. Veteksemicons PECVD -grafittbåt optimaliserer beleggprosessen ved å effektivt avstand til silisiumskiver og indusere glødutladning for å oppnå ensartet beleggavsetning.

Enda viktigere er at Veteksemicon kan tilby tilpassede produkter og tekniske tjenester, og kan designe og produsere grafittbåtprodukter med forskjellige spesifikasjoner i henhold til dine faktiske prosesskrav. Vi ser oppriktig frem til å bli din langsiktige partner.

Og Fordelene med PECVD -grafittbåt sammenlignet med vanlig grafittbåt, bare klikk