SiC belagt dyp UV LED -følger

SiC belagt dyp UV -LED -sensekter er kjernelagerkomponenten iMOCVD (metall organisk kjemisk dampavsetning) utstyr. Følsomheten påvirker direkte enhetligheten, tykkelseskontrollen og materialkvaliteten til dyp UV -LED -epitaksial vekst, spesielt i veksten av aluminiumnitrid (ALN) epitaksialt lag med høyt aluminiuminnhold, utformingen og ytelsen til sensoren er avgjørende.

SIC -belagt dyp UV -LED -mottaker er spesielt optimalisert for dyp UV -LED -epitaksi, og er nøyaktig designet basert på termiske, mekaniske og kjemiske miljømessige egenskaper for å oppfylle strenge prosessbehov.

Vetek Semiconductor bruker avansert prosesseringsteknologi for å sikre ensartet varmefordeling av masceptoren innenfor driftstemperaturområdet, og unngår ikke-ensartet vekst av det epitaksiale laget forårsaket av temperaturgradient. Presisjonsbehandling kontrollerer overflateuhet, minimerer partikkelforurensning og forbedrer den termiske ledningseffektiviteten til skivenes overflatekontakt.

Vetek Semiconductor bruker SGL -grafitt som materialet, og overflaten behandles medCvd sic belegg, som tåler NH3, HCl og atmosfære med høy temperatur i lang tid. Vetek Semiconductors SIC -belagte dype UV -LED -sensekter matcher den termiske ekspansjonskoeffisienten til ALN/GaN epitaksiale skiver, reduserer wafer -varping eller sprekker forårsaket av termisk stress under prosessen.

Det viktigste er at Vetek Semiconductors SIC -belagte dype UV -LED -mottaker perfekt tilpasser seg mainstream MOCVD -utstyr (inkludert Veeco K465i, Epik 700, Aixstron Crius, etc.). Støtter tilpassede tjenester for skivestørrelse (2 ~ 8 tommer), skivesporutforming, prosesstemperatur og andre krav.

Applikasjonsscenarier:

● Dyp UV LED -forberedelse: Gjelder for den epitaksiale prosessen med enheter i båndet under 260 nm (UV-C desinfeksjon, sterilisering og andre felt).

● Nitride halvleder epitaxy: Brukes til epitaksial preparat av halvledermaterialer som galliumnitrid (GaN) og aluminiumnitrid (ALN).

● Epitaksiale eksperimenter på forskningsnivå: Dyp UV -epitaxy og nye materialutviklingseksperimenter i universiteter og forskningsinstitusjoner.

Med støtte fra et sterkt teknisk team er Vetek Semiconductor i stand til å utvikle mottakere med unike spesifikasjoner og funksjoner i henhold til kundebehov, støtte spesifikke produksjonsprosesser og tilby langsiktige tjenester.

SEM -data fra CVD SIC Coating Film:

Grunnleggende fysiske egenskaper ved CVD SIC -belegg:

Det halvlederSIC belagt dyp UV LED -sensorproduktbutikker: