Glassaktig karbon digel

1. Materielle egenskaper: Ikke-grafitisert glassaktig karbon, ytelse overgår tradisjonelle materialer i alle aspekter

Veteksemicons glassaktig karbon digel vedtar avansert avansert sintringsteknologi med høy temperatur, og polymerforløperen behandles ved 3000 ° C i et inert gassmiljø. Den har både tettheten av glass og keramikkens høye temperaturmotstand.Kjernefordelene inkluderer:

✔ Ultrahøy renhet: urenhetsinnholdet er mindre enn 2 ppm (for eksempel metallforurensninger som aluminium og jern), som tilfredsstiller behovene til halvlederkvalitetsmaterialer.

✔ Ekstrem temperaturmotstand: Den kan brukes stabilt opp til 3000 ° C i vakuum eller inert gass, og styrken øker med økningen av temperaturen (styrken ved 2400 ° C er dobbelt så stor som normal temperatur).

✔ Null porøsitet og anti-permeabilitet: Det er ingen åpne porer, og gasspermeabilitetskoeffisienten er så lav som 10⁻⁹ cm²/s, som kan unngå oksidasjon eller forurensning av smeltet metall.

✔ Utmerket elektrisk og termisk ledningsevne: Termisk ledningsevne 6,3 W/(M · K), resistivitet 45μω · m, egnet for høyfrekvent induksjonsoppvarmingsprosess.

✔ Kjemisk korrosjonsmotstand: Resistent mot sterk syre, sterk alkali og smeltet saltkorrosjon, ingen partikkel som kaster, sikrer renslighet av halvlederproduksjon.

2. Kjerneapplikasjonsscenarier i halvlederbehandling

Veteksemicons glassaktig karbon digelprodukter dekker nøkkelkoblingene i hele prosessen i halvlederproduksjon, generelt inkludert:

1) Enkeltkrystallsilisiumvekst:

Isolerende belegg brukt til SiC krystallvekstovn, forbedring av termisk feltstabilitet og reduserer energiforbruket med 20%.

Karakteristikker med høy renhet unngår forurensning av silisiums smelte og reduserer gitterfeil.

2) Ionimplantasjon og etsingsprosess:

Som en elektrode- og gassdiffusor for plasma -etsesystem sikrer det ensartet utslipp og prosesskonsistens.

Anti-ion bombardementegenskaper forlenger levetiden til utstyret.

3) Metallisering og legeringsmelting:

Ideell beholder for smeltet gull, palladium og titanlegeringer, ikke-vekkende overflate reduserer tap av materialet.

Passer for rensing og støping av svært aktive sjeldne metaller (som gallium og indium).

Advarsel: Karbon-krusning av glass kan ikke brukes til å smelte krom-kobolt-molybden-legeringer. Tilsvarende kan de ikke brukes til å smelte noe enkelt karbid, for eksempel silisium eller wolfram.

4) Avansert emballasje og testing:

Som en skiveoverføringsbærer (dummy wafer) og varmefleks, sikrer det stabiliteten i høye temperaturprosesser.

3. Enterprise Produksjonsstyrke: storstilt produksjon og teknologisk innovasjon

Som Kinas ledende leverandør av råvarer for karbon i glass, har Veteksemicon følgende kjernefordeler:

✔ Uavhengig produksjon av full prosess

Fra råstoffpolymerisasjon til sintring av høy temperatur, er hele prosessen kontrollerbar for å sikre batchkonsistens.

Masseproduksjonskapasitet dekker 5μm-nivå ultra-tynne belegg til store digler (for eksempel diameter 132mm, høyde 273 mm spesifikasjoner).

✔ Tilpassede behandlingsfunksjoner

Støtter tilpasning av ikke-standard størrelse (for eksempel spesialformede digler, rør, filmer), med en toleranse nøyaktighet på ± 0,2 mm.

✔ Teknologi FoU -reserver

Samarbeide med vitenskapelige forskningsinstitusjoner ved det kinesiske vitenskapsakademiet for å utvikle nano glassaktig karbon (styrke opp til 3GPa) og utvide anvendelsen av miniatyrisert halvlederutstyr.

Legg ut nye felt som bipolare plater med brenselcelle og luftfartshale-dyser for å fremme innovasjon over landegrensene.