Tantal karbidteknologiens gjennombrudd, SIC epitaksial forurensning redusert med 75%?

Nylig har det tyske forskningsinstituttet fraunhofer IISB gjort et gjennombrudd i forskningen og utviklingen avTantal karbidbeleggsteknologi, og utviklet en spraybeleggløsning som er mer fleksibel og miljøvennlig enn CVD -deponeringsløsningen, og har blitt kommersialisert.

Og innenlandsk Vetek Semiconductor har også gjort gjennombrudd på dette feltet, se nedenfor for detaljer.

Fraunhofer IISB:

Utvikle en ny TAC -beleggsteknologi

5. mars, ifølge media "Sammensatt halvleder", Fraunhofer IISB har utviklet en nyTantal karbid (TAC) beleggsteknologi-Taccotta. Teknologilisensen er overført til Nippon Kornmeyer Carbon Group (NKCG), og NKCG har begynt å tilby TAC-belagte grafittdeler til kundene sine.

Den tradisjonelle metoden for å produsere TAC -belegg i industrien er kjemisk dampavsetning (CVD), som står overfor ulemper som høye produksjonskostnader og lange leveringstider. I tillegg er CVD -metoden også utsatt for sprekker av TAC under gjentatt oppvarming og avkjøling av komponenter. Disse sprekker utsetter den underliggende grafitten, som forringes alvorlig over tid og må byttes ut.

Innovasjonen av Taccotta er at den bruker en vannbasert spraybeleggingsmetode etterfulgt av temperaturbehandling for å danne et TAC-belegg med høy mekanisk stabilitet og justerbar tykkelse påGrafittunderlag. Tykkelsen på belegget kan justeres fra 20 mikron til 200 mikron for å passe til forskjellige applikasjonskrav.

TAC -prosessteknologien utviklet av Fraunhofer IISB kan justere de nødvendige beleggegenskapene, for eksempel tykkelse, som vist nedenfor i området 35μm til 110 μm.

Spesielt har Taccotta Spray Coating også følgende nøkkelfunksjoner og fordeler:

● Mer miljøvennlig: Med vannbasert spraybelegg er denne metoden mer miljøvennlig og enkel å industrialisere;

● Fleksibilitet: Taccotta -teknologi kan tilpasse seg komponenter i forskjellige størrelser og geometrier, og tillater delvis belegg og komponentoppussing, noe som ikke er mulig i CVD.

● Redusert tantalforurensning: grafittkomponenter med taccotta -belegg brukes i SIC epitaksial produksjon, og tantalforurensning reduseres med 75% sammenlignet med eksisterendeCVD -belegg.

● Slitestyrke: Skrapesester viser at å øke beleggtykkelsen kan forbedre slitestyrken betydelig.

Skrapestest

Det rapporteres at teknologien er blitt fremmet for kommersialisering av NKCG, et joint venture med fokus på å tilby grafittmaterialer med høy ytelse og relaterte produkter. NKCG vil også delta i utviklingen av Taccotta -teknologi i lang tid i fremtiden. Selskapet har begynt å tilby grafittkomponenter basert på Taccotta -teknologi til kundene sine.

Vetek Semiconductor fremmer lokaliseringen av TAC

I begynnelsen av 2023 lanserte Vetek Semiconductor en ny generasjon avSic krystallvekstTermisk feltmateriale-Porøs tantal karbid.

I følge rapporter har Vetek Semiconductor lansert et gjennombrudd i utviklingen avPorøs tantal karbidmed stor porøsitet gjennom uavhengig teknologiforskning og utvikling. Porøsiteten kan nå opp til 75%og oppnå internasjonal ledelse.