Grafitt roterende støtte

Wafer -sensekter er et must for epitaksial vekstprosess. Under epitaksial vekst plasseres skivesubstratet i sensekteren. Vetek halvlederens grafitt med høy renhet brukes motmuligheter i materialbehandling under høye temperaturer og høye vakuummiljøer. I den epitaksiale veksten av galliumnitrid (MOCVD -prosess) spiller de en bærende rolle i rotasjonen av underlaget. Vetek Semiconductors roterende grafittsceptor har følgende fordeler:

● Høy renhet: Urenhetsinnholdet i grafitt-roterende masceptorer med høy renhet er under 5 ppm. Dette nivået av renhetsgrafitt kan unngå frigjøring av urenheter ved høye temperaturer for å sikre renslighet av deponeringsprosessen. Derfor kreves det ikke noe belegg for å oppfylle arbeidskravene.

Grafitt med høy renhet

● Utmerkede termiske egenskaper: Grafitt med høy renhet har utmerket varmeledningsevne, og dens termiske konduktivitet er mye høyere enn andre materialer. Den termiske ekspansjonskoeffisienten er liten og kan opprettholde stabil ytelse når du opplever temperaturendringer.

● Gode mekaniske egenskaper: Grafitt med høy renhet har god slitestyrke og seighet, som kan oppfylle de komplekse kravene til CVD-prosess.

● Utmerket konduktivitet: Konduktiviteten er hundre ganger høyere enn for generelle ikke-metalliske mineraler.

● Kjemisk stabilitet: Det kan motstå korrosjon fra syrer, alkalier og organiske løsningsmidler

Dessuten, som en ledende produsent og leverandør av grafitt med høy renhet, gir Vetek Semiconductor også høy kvalitet av høy kvalitet av høy kvalitetSiC -belagt grafittmottar for MOCVD, SiC belagt tønnemottar, TAC -belagt grafittstøtteogMocvd sic beleggsceptor.Vetek Semiconductor er opptatt av å tilby avansert teknologi og produktløsninger for halvlederindustrien, og støtter også tilpassede tjenester. Vi ser oppriktig frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Det halvlederGraphite roterende SSECTOR -produktbutikker: