Produkter
SiC Coated Pancake Susceptor for LPE PE3061S 6'' Wafere
  • SiC Coated Pancake Susceptor for LPE PE3061S 6'' WafereSiC Coated Pancake Susceptor for LPE PE3061S 6'' Wafere
  • SiC Coated Pancake Susceptor for LPE PE3061S 6'' WafereSiC Coated Pancake Susceptor for LPE PE3061S 6'' Wafere

SiC Coated Pancake Susceptor for LPE PE3061S 6'' Wafere

SIC -belagt pannekake -sensekter for LPE PE3061S 6 '' skiver er en av kjernekomponentene som ble brukt i 6 '' Wafers Epitaxial Wafer -prosessering. Vetek Semiconductor er for tiden en ledende produsent og leverandør av SIC -belagte pannekake -mottakor for LPE PE3061S 6 '' skiver i Kina. Den SIC -belagte pannekakestensoren den gir har utmerkede egenskaper som høy korrosjonsmotstand, god termisk ledningsevne og god ensartethet. Ser frem til din henvendelse.

Som den profesjonelle produsenten vil VeTek Semiconductor gjerne gi deg høykvalitets SiC-belagt pannekakesusceptor for LPE PE3061S 6'' wafere.

Vetek Semiconductor SIC -belagte pannekakestensator for LPE PE3061S 6 "Wafers er et kritisk utstyr som brukes i halvlederproduksjonsprosesser.


SIC -belagt pannekake -sensekter for LPE PE3061S 6 "VAFERS PRODUKT FUNKSJONER:

Høytemperaturstabilitet: SiC viser utmerket høytemperaturstabilitet, og opprettholder sin struktur og ytelse i høytemperaturmiljøer.

Enestående varmeledningsevne: SiC har eksepsjonell varmeledningsevne, som muliggjør rask og jevn varmeoverføring for rask og jevn oppvarming.

Korrosjonsbestandighet: SiC har utmerket kjemisk stabilitet, motstår korrosjon og oksidasjon i ulike oppvarmingsmiljøer.

Ensartet oppvarmingsfordeling: SiC-belagt waferbærer gir jevn varmefordeling, og sikrer jevn temperatur over overflaten av waferen under oppvarming.

Egnet for halvlederproduksjon: Si-epitaksi-waferbærer er mye brukt i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt for Si-epitaksivekst og andre høytemperaturoppvarmingsprosesser.


Produktfordeler:

Forbedret produksjonseffektivitet: SIC-belagt pannekake-mottaker muliggjør rask og jevn oppvarming, reduserer oppvarmingstiden og forbedrer produksjonseffektiviteten.

Sikret produktkvalitet: Ensartet oppvarmingsfordeling sikrer konsistens under av Wafer -prosessering, noe som fører til forbedret produktkvalitet.

Forlenget utstyrslevetid: SiC-materiale gir utmerket varmebestandighet og kjemisk stabilitet, noe som bidrar til en lengre levetid for pannekakemottakeren.

Tilpassede løsninger: SIC-belagt masceptor, SI Epitaxy Wafer-transportør kan skreddersys til forskjellige størrelser og spesifikasjoner basert på kundekrav.


cvd-sic-coating-film-crystal-structure


Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg:

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg
Eiendom Typisk verdi
Krystallstruktur FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
Tetthet 3,21 g/cm³
Hardhet 2500 Vickers hardhet (500 g belastning)
Kornstørrelse 2~10μm
Kjemisk renhet 99,99995 %
Varmekapasitet 640 J · kg-1· K.-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Bøyestyrke 415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul 430 GPA 4pt bøy, 1300 ℃
Termisk ledningsevne 300 W·m-1· K.-1
Termisk utvidelse (CTE) 4,5 × 10-6K-1


Forhandler halvleder

VeTek Semiconductor Production Shop


Oversikt over halvlederbransjens bransjekjede:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: SiC Coated Pancake Susceptor for LPE PE3061S 6'' Wafere
Send forespørsel
Kontaktinfo
For spørsmål om silisiumkarbidbelegg, tantalkarbidbelegg, spesialgrafitt eller prisliste, vennligst legg igjen din e-post til oss, så tar vi kontakt innen 24 timer.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept