SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI

✔ Redusert forurensning: SiCs inerte natur forhindrer urenheter i å feste seg til susceptoroverflaten, noe som reduserer risikoen for kontaminering av de avsatte filmene.

✔ Økt erosjonsmotstand: SiC er betydelig mer motstandsdyktig mot erosjon enn konvensjonell grafitt, noe som fører til lengre levetid for susceptoren.

✔ Forbedret termisk stabilitet: SIC har utmerket varmeledningsevne og tåler høye temperaturer uten betydelig forvrengning.

✔ Forbedret filmkvalitet: Den forbedrede termiske stabiliteten og redusert forurensning resulterer i avsatte filmer av høyere kvalitet med forbedret jevnhet og tykkelseskontroll.

✔ GaN-baserte lysdioder

✔ Kraftelektronikk

✔ Optoelektroniske enheter

✔ Høyfrekvente transistorer

✔ Sensorer

Produktparameter for SiC Coated Graphite Barrel Susceptor

        Merk: Før belegning vil vi gjøre første rensing, etter belegg vil vi gjøre andre rensing.

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg