TAC -belagt ring

Veteksemi TAC -belagt ring er en høyytelseskomponent skreddersydd for produksjonsprosesser for halvleder. Det unikt designet tantalkarbid (TAC) belegget gir produktet utmerket høy temperaturmotstand, korrosjonsmotstand og mekanisk stabilitet, noe som forbedrer levetiden og påliteligheten til grafittkomponenter i halvlederutstyr betydelig.

Overlegen ytelse av tantal karbidbelegg ：

● Ultrahøy temperaturmotstand: TAC-belegg kan lett tåle ekstreme temperaturer på opptil 2200 ° C og forbli stabile under termiske støtmiljøer som er vanlige i halvlederproduksjon.

● Utmerket kjemisk stabilitet: Belegget viser sterk motstand mot vanlige korrosive gasser som hydrogen, ammoniakk, silan og silisium, og beskytter effektivt underlaget mot kjemisk angrep.

● Utmerkede mekaniske egenskaper: TAC -belegg har høy hardhet, høy slitestyrke og god termisk sjokkmotstand, og kan fungere stabilt i lang tid under tøffe arbeidsforhold.

● Utmerket vedheft: Belegget er tett bundet til grafittunderlaget, og forhindrer effektivt belegget fra å skrelle av og sikre jevn ytelse gjennom produktets levetid.

● Høy renhet: TAC -belegget fremstilt av CVD har ekstremt høy renhet, noe som minimerer introduksjonen av urenheter og gir et rent prosessmiljø for halvlederproduksjon.

Fordeler med tantal karbidbelagte ringer:

● Levetid for utvidet utstyr: TAC -belegg blokkerer effektivt kjemiske reaksjoner og urenhetsdiffusjon, og forlenger levetiden til grafittkomponenter betydelig og reduserer vedlikeholdskostnader.

● Forbedre produksjonseffektiviteten: Produktets høye temperaturmotstand og korrosjonsmotstand gjør det i stand til å fungere under mer krevende forhold, forkorte produksjonssyklusen og øke produksjonskapasiteten.

● Forbedret produktkvalitet: TAC -belegg med høy renhet hjelper til med å redusere forurensning, og sikrer kvaliteten og konsistensen av halvlederprodukter.

Vetek Semiconductor har vært spesialisert i TAC -beleggprodukter som for eksempelTac Coating Chuck, TAC belegg rotasjonsplate, TAC -belegg undergis, TAC -belagt wafer -sensekteri mange år. Våre TAC -belagte ringprodukter har funksjonene til levetid for utvidet utstyr, forbedret produksjonseffektivitet og forbedret produktkvalitet. Samtidig har Vetek Semiconductor lenge vært opptatt av å tilby avansert teknologi og produktløsninger for halvlederindustrien. 

På grunn av de forskjellige kjemiske egenskapene til grafitt- og tantalkarbidmaterialer, vil ikke koeffisienten for termisk ekspansjon samsvare med, og det er lett å bli oppvarmet ved høy temperatur ved Vetek -halvleder gjennom en spesifikk prosess for å fremme dannelsen av tantalkarbidbelegg delvis på overflaten. På denne måten blir tantalkarbidbelegget tett nestet i grafittmatrisen gjennom vekst på stedet, noe som betydelig øker bindingskraften mellom belegget og matrisen og håper effektivt å bli din langsiktige partner i Kina.

Tantal karbidbelagte ringer butikker: