Silisiumkarbid wafer chuck

Vetek halvleder silisiumkarbid wafer chuck bruker de utmerkede egenskapene til silisiumkarbidmaterialer for å oppfylle de strenge kravene til halvlederproduksjon, spesielt i halvlederbehandling som krever ekstremt høy presisjon og pålitelighet.

I halvlederbehandlingsprosessen,SilisiumkarbidHar utmerket høye temperaturmotstand (kan fungere stabilt ved opptil 1400 ° C), lav konduktivitet (sic har en relativt lav konduktivitet, typisk 10^^-3S/m) og lav termisk ekspansjonskoeffisient (ca. 4,0 × 10^^-6/° C), som er et uunnværlig og viktig materiale, spesielt egnet for fremstilling av silisiumkarbid -wafer chuck.

UnderEpitaksial vekstprosess, blir et tynt lag med halvledermateriale avsatt på et underlag, noe som krever absolutt stabilitet fra skiven for å sikre ensartet og høykvalitets filmavsetningslag. SiC -vakuum chuck oppnår dette ved å lage et fast, konsistent vakuumhold for å forhindre bevegelse eller deformasjon av skiven.

Silisiumkarbidskiven Chuck tilbyr også utmerket motstand mot termisk sjokk. Rask temperaturendringer er vanlige ved halvlederproduksjon, og materialer som ikke tåler disse svingningene kan sprekke, bøye eller mislykkes. Silisiumkarbid har en lav termisk ekspansjonskoeffisient og kan opprettholde sin form og funksjon selv under drastiske temperaturendringer, noe som sikrer at skiven forblir sikker under epitaksiprosessen uten bevegelse eller feiljustering.

DessutenEpitaxy prosessinvolverer ofte reaktive gasser og andre etsende kjemikalier. Den kjemiske inertheten til Sic Wafer Chuck sikrer at den ikke påvirkes av disse tøffe miljøene, opprettholder ytelsen og forlenger levetiden. Denne kjemiske holdbarheten reduserer ikke bare frekvensen av skiven Chuck-erstatning, men sikrer også konsistent produktytelse over flere produksjonssykluser, og bidrar til å forbedre den generelle effektiviteten og kostnadseffektiviteten til halvlederproduksjonsprosessen.

Vetek Semiconductor er en ledende produsent og leverandør av silisiumkarbid wafer chuck -produkter i Kina. Vi kan tilby forskjellige typer chuck -produkter som for eksempelPorøs sic keramisk chuck, Porøs sic vakuum chuck, Porøs keramisk vakuum chuckogTAC belagt chuckosv. Vetek Semiconductor er opptatt av å tilby avansert teknologi og produktløsninger for halvlederindustrien. Vi håper inderlig å bli din langsiktige partner i Kina.

SEM -data om CVDSic filmkrystallstruktur：

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck Shops：