silisiumkarbid keramisk beleggvarmer

Det halvlederSilisiumkarbid keramisk beleggvarmer er en varmeapparat designet for høye temperaturer og tøffe miljøer. Den belegger et lag med silisiumkarbon -keramisk belegg (SIC) på overflaten av varmeelementet for å gi utstyret utmerket varmemotstand, korrosjonsmotstand og termisk ledningsevne. 

Silisiumkarbid keramisk beleggvarmerbrukes hovedsakelig i vakuumbelegg (fordampning) utstyr. De ofte brukte metodene er PCD (plasmakjemisk tørking) og PVD (fysisk dampavsetning), som er mye brukt i halvlederproduksjon og andre industrielle applikasjoner med høyt etterspørsel.

Kombinert med høyytelsesbeleggdesign av silisiumkarbid keramisk beleggvarmer,Det kan gi en utmerket oppvarmingsløsning for høye temperaturprosesser.

Utmerket varmeledningsevne: SIC -materiale har utmerket varmeledningsevne, og sikrer at varmeren kan oppnå ensartet varmefordeling i arbeidsområdet og redusere temperaturgradienter.

Gi jevn varmefordeling: Silisiumkarbid keramisk beleggvarmer bruker den høye termiske konduktiviteten til SIC -materiale for å oppnå ensartet temperaturfordeling gjennom varmeområdet. Dette er avgjørende for å sikre ensartet varmebehandling av halvlederskiver i forskjellige høye temperaturprosesser som rask termisk prosessering (RTP), diffusjon og oksidasjon, og unngår produktdefekter forårsaket av lokal overoppheting eller ujevn temperatur.

Høy temperaturtoleranse: SIC-belegg gjør det mulig for varmeapparatet å motstå ekstremt høye temperaturer, typisk opp til 1600 ° C, egnet for forskjellige prosesser med høy temperatur.

Forbedre varmebestandigheten: Fordi belegget tåler ekstremt høye temperaturer, fungerer det bra i prosesser som krever langvarig drift av høy temperatur. For eksempel, i kjemisk dampavsetning (CVD) -prosesser, kan silisiumkarbid keramisk beleggvarmer sikre langvarig stabil drift av utstyret ved høye temperaturer og opprettholde jevn oppvarmingsytelse, og dermed forbedre prosessrepeterbarheten og påliteligheten.

Kjemisk korrosjonsmotstand: Sic belegg har ekstremt høy motstand mot syre, alkali og etsende gasser, og kan forbli stabil i lang tid i et komplekst kjemisk atmosfæremiljø, og forlenge utstyrets levetid. 

Forlenger utstyrets levetid: SIC -belegg har utmerket oksidasjonsresistens og korrosjonsbestandighet, og kan effektivt motstå kjemisk erosjon og oksidasjon ved høye temperaturer. Dette er veldig kritisk i halvlederproduksjonsprosessen, spesielt i et miljø som håndterer etsende gasser og kjemikalier. Den beskyttende effekten av belegget kan utvide levetiden til varmeapparatet betydelig og redusere hyppigheten av utstyrsutskiftning og vedlikeholdskostnader.

Grunnleggende fysiske egenskaper ved silisiumkarbid keramisk beleggvarmer:

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating Heater Butikker:

Oversikt over Vetek Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: