silisiumkarbid keramisk belegg grafittvarmer

Det halvleder Silisiumkarbid keramisk belegg grafittvarmerKombinerer den utmerkede elektriske og termiske ledningsevnen til grafitt med høye temperaturmotstand, korrosjonsmotstand og slitestyrke av silisiumkarbon -keramisk belegg, og er designet for tøffe halvlederproduksjonsmiljøer. 

Silisiumkarbid keramisk belegg grafittvarmerbrukes hovedsakelig i vakuumbelegg (fordampning) utstyr, og metodene som ofte brukes er PCD (plasma kjemisk tørking) og PVD (fysisk dampavsetning). Dette produktet har spilt en viktig rolle i å fremme teknologisk fremgang og forbedre produksjonseffektiviteten i halvlederindustrien.Vi ser oppriktig frem til videre samarbeid med deg.

Materialet og strukturelle trekk ved silisiumkarbid keramisk belegg grafittvarmer er som følger:

Grafittunderlag: Grafitt er kjent for sin høye termiske ledningsevne og lave termiske ekspansjonskoeffisient. Det kan svare raskt på temperaturendringer og opprettholde strukturell stabilitet ved høye temperaturer.

Silisiumkarbon keramisk belegg: SIC -belegg er jevnt belagt på grafittoverflaten gjennom kjemisk dampavsetning eller andre avanserte prosesser. SIC har ekstremt høy hardhet og kjemisk korrosjonsresistens, som kan beskytte grafittunderlaget mot oksidasjon av høy temperatur og etsende miljøer.

Spesialproduktstrukturell design av silisiumkarbid keramisk belegg grafittvarmer bestemmerDe uerstattelige produktfordelene med dette produktet i halvlederbehandlingsprosessen:

Effektiv og jevn oppvarming:

Termisk konduktivitet: Den høye termiske konduktiviteten til grafitt gjør at varmeren raskt kan nå og opprettholde den nødvendige temperaturen, og SIC -belegget sikrer jevn fordeling av varme. Dette er spesielt viktig for halvlederprosesser som krever presis temperaturkontroll, for eksempel rask termisk prosessering (RTP) og kjemisk dampavsetning (CVD).

Temperaturenhet: Gjennom ensartet varmefordeling kan silisiumkarbid keramisk beleggingsgrafittvarmer effektivt redusere termisk stress og temperaturgradient, noe som sikrer konsistensen og kvalitetsstabiliteten til halvlederskiver gjennom oppvarmingsprosessen.

Antikorrosjonsbeskyttelse:

Kjemisk motstand: Den kjemiske korrosjonsmotstanden til SIC -belegg gjør det mulig for varmeapparatet å fungere stabilt og i lang tid i etsende gass- og kjemiske miljøer, og unngår skade på grafittunderlaget. Denne funksjonen er spesielt kritisk i prosesser som kjemisk dampavsetning (CVD) og plasmaforbedret kjemisk dampavsetning (PECVD).

Oksidasjonsmotstand: Ved høye temperaturer kan SIC -belegg forhindre oksidasjon av grafittunderlaget, forlenge levetiden til varmeren og redusere frekvensen og kostnadene for vedlikehold av utstyr.

Reduser partikkelforurensning:

Overflatestabilitet: SIC-belegg er ikke bare slitasje-resistent, men forhindrer også partikler i å falle av den materielle overflaten på grunn av termisk sykling eller kjemiske reaksjoner, og reduserer dermed risikoen for partikkelforurensning som kan oppstå under halvlederproduksjon og sikre et prosessmiljø med høy renslighet.

Forbedre prosessens pålitelighet og effektivitet:

Lang levetid: På grunn av kombinasjonen av den mekaniske styrken til grafitt og slitemotstanden til SIC-belegg, kan silisiumkarbid keramisk belegg grafittvarmer opprettholde høyeffektiv drift i lang tid under tøffe prosessforhold betydelig forbedring av den totale påliteligheten til utstyret.

Effektiv energiutnyttelse: Den høye termiske konduktiviteten til grafitt og høye temperaturstabiliteten til SIC-belegg gjør det mulig for varmeapparatet å redusere energiforbruket og samtidig forbedre temperaturkontrollnøyaktigheten, og dermed forbedre den generelle effektiviteten til halvlederproduksjonen.

Grunnleggende fysiske egenskaper tilSilisiumkarbid keramisk belegg grafittvarmer:

Det halvlederSilisiumkarbid keramisk belegg grafittvarmerbutikker:

Oversikt over halvlederbrikken Epitaxy Industry Chain:

/annen prosess