CVD SIC beleggvarmeelement

CVD SIC beleggvarmeelement brukes hovedsakelig i PVD (fysisk dampavsetning) utstyr. I fordampingsprosessen blir materialet oppvarmet for å oppnå fordampning eller sputtering, og til slutt dannes en enhetlig tynn film på underlaget.

Ⅰ.Spesifikk applikasjon

Tynn filmavsetning: CVD sic beleggvarmeelement brukes i fordampningskilde eller sputteringskilde. Ved oppvarming varmer elementet materialet som skal avsettes til en høy temperatur, slik at det er atomer eller molekyler skilles fra overflaten av materialet, og dermed danner damp eller plasma. Vårt varmeelementbaserte SIC -belegg kan også direkte varme opp noen metall- eller keramiske materialer for å fordampe eller sublimere dem i et vakuummiljø for bruk som materiell kilde i PVD -prosessen. Fordi strukturen har konsentriske spor, kan den bedre kontrollere den nåværende banen og varmefordelingen for å sikre ensartethet i oppvarmingen.

Skjematisk diagram over fordampningsprosessen

Ⅱ.Arbeidsprinsipp

Resistiv oppvarming, når strømmen passerer gjennom motstandsbanen til den SIC -belagte varmeovnen, genereres Joule -varme, og oppnår dermed effekten av oppvarming. Den konsentriske strukturen gjør at strømmen kan fordeles jevnt. En temperaturkontrollenhet er vanligvis koblet til elementet for å overvåke og justere temperaturen.

Ⅲ.Materiale og strukturell design

CVD SIC beleggvarmeelement er laget av grafitt med høy renhet og SIC-belegg for å takle miljø med høyt temperatur. Selve grafitt med høy renhet har blitt mye brukt som et termisk feltmateriale. Etter at et lag med belegg blir brukt på grafittoverflaten ved CVD-metode, forbedres dens høye temperaturstabilitet, korrosjonsmotstand, termisk effektivitet og andre egenskaper ytterligere.

Utformingen av konsentriske spor gjør at strømmen kan danne en jevn sløyfe på diskoverflaten. Det oppnår ensartet varmefordeling, unngår lokal overoppheting forårsaket av konsentrasjon i visse områder, reduserer ytterligere varmetap forårsaket av strømkonsentrasjonen og forbedrer dermed oppvarmingseffektiviteten.

CVD SIC beleggvarmeelementet består av to ben og en kropp. Hvert ben har en tråd som kobles til strømforsyningen. Vetek Semiconductor kan lage deler eller delte deler i ett stykke, det vil si at bena og kroppen lages separat og deretter settes sammen. Uansett hvilke krav du har for CVD SIC -belagt varmeovn, kan du kontakte oss. Veteksemi kan tilby produktene du trenger.

Grunnleggende fysiske egenskaper ved CVD SIC -belegg ：