Kvartsovnsrør for diffusjonsovn

1. Nøkkelfunksjoner og fordeler

• Dehydroksylert smeltet kvarts med ultrahøy renhet (SiO₂ ≥ 99,999%) med metallurenheter kontrollert ved ppb-nivåer og ekstremt lavt hydroksylinnhold

• Langtidsdriftstemperatur opp til 1100 °C; kortvarig toppmotstand til 1200 °C

• Utmerket termisk støtmotstand etter full spenningsavlastende gløding – motstandsdyktig mot sprekker under raske temperaturendringer

• Enestående kjemisk inerthet mot oksiderende, reduserende og halogenholdige prosessgasser; egnet for plasma og korrosive atmosfærer

• Svært lav vakuumutgassing; glatt innervegg minimerer oppbygging av biprodukter og støtter prosessens repeterbarhet

• Forming i ett stykke med jevn veggtykkelse, høy koaksialitet og presisjonsferdige ender for pålitelig forsegling

• Tilpassbare strukturer: rette rør, reduksjonsrør, flensrør, utvidede lengder og spesielle endekonfigurasjoner for vertikale eller horisontale ovner

2. Typiske bruksområder

VeTek kvartsovnsrør er mye brukt som kjernereaksjonskammer i:

• Termiske oksidasjonsovner (tørr/våt oksidasjon)

• Diffusjonsovner for introduksjon av dopemiddel (B, P, As, etc.)

• LPCVD-systemer for tynnfilmavsetning

• Vakuumgløding og andre høytemperatur varmebehandlingsprosesser

• Kompatibel med 4-tommers, 6-tommers, 8-tommers og 12-tommers wafer-plattformer (Si, SiC, GaN, safirsubstrater)

De støtter logikk, minne, kraftenhet, MCU, LED, MEMS og halvlederproduksjonslinjer med bred båndgap som krever stabil temperaturuniformitet, gassstrømkontroll og ultrarene prosessmiljøer.

3. Viktige tekniske parametere

• Materiale: Dehydroksylert smeltet kvarts av halvlederkvalitet (SiO₂ ≥ 99,999%), lav hydroksyl, lite metalliske urenheter

• Wafer-kompatibilitet: 4 / 6 / 8 / 12 tommer

• Langtidsarbeidstemperatur: −20 °C til 1100 °C; kortvarig topp opp til 1200 °C

• Prosess: Termisk forming i ett stykke, vegghomogenisering, sluttbehandling, spenningsavlastende utglødning, heliumlekkasjetest, ultraren rengjøring

• Tilgjengelige strukturer: Rett rør, reduksjonsrør, flensrør, forlenget / tilpasset lengde, spesial-endekonfigurasjoner

• Tilpasning: indre/ytre diameter, lengde, veggtykkelse, flensspesifikasjoner og spesielle geometrier per kundetegninger

4. Hvorfor velge VeTek Quartz Furnace Tubes?

Som en profesjonell produsent av halvlederkvartskomponenter tilbyr VeTek Semiconductor:

• Høyrente kvartsovnsrør konstruert for oksidasjons-, diffusjons-, LPCVD- og glødeutstyr

• Streng renhetskontroll, dimensjonsnøyaktighet og renslighet egnet for klasse 10 / klasse 100 renromproduksjon

• Full tilpasning og OEM-kompatible design for vertikale og horisontale rørovner

• Komplementære halvlederkvartsprodukter, inkludert waferbåter, smeltedigler, foringer og andre prosesskomponenter

Våre kvartsovnsrør bidrar til å opprettholde stabile termiske og gassstrømforhold, minimere partikkel- og metallforurensning og forlenge levetiden under kontinuerlig høytemperatur-sykling – noe som støtter høyere utbytte og lavere eierkostnader i termisk halvlederbehandling.