Ald smeltet kvarts sokkel

VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Pidestal spiller en nøkkelrolle i halvlederproduksjonsprosessen som en støttestruktur forkvartsbåt, som brukes til å holdewafer. Fused Quartz Pedestal hjelper til med å oppnå ensartet filmavsetning ved å opprettholde en stabil temperatur, noe som direkte påvirker ytelsen og påliteligheten til halvlederenheter. I tillegg sikrer kvartssporal ensartet fordeling av varme og lys i prosesskammeret, og forbedrer dermed den generelle kvaliteten på deponeringsprosessen.

ALD Fused Quartz Pidestal Material Fordeler

Høy temperaturmotstand: Mykningspunktet for smeltet kvarts -sokkel er så høyt som omtrent 1730 ° C, og den tåler høy temperaturoperasjon på 1100 ° C til 1250 ° C i lang tid, og kan utsettes for ekstreme temperaturmiljøer opp til 1450 ° C i kort tid.

Utmerket korrosjonsmotstand: Smeltet kvarts er svært kjemisk inert til nesten alle syrer bortsett fra hydrofluorsyre. Syremotstanden er 30 ganger høyere enn keramikk og 150 ganger høyere enn rustfritt stål. Fused Quartz er kjemisk uovertruffen ved høye temperaturer, noe som gjør det til et ideelt materiale for komplekse kjemiske prosesser.

Termisk stabilitet: Et nøkkeltrekk ved Fused Quartz Pedestal-materialet er den ekstremt lave termiske ekspansjonskoeffisienten. Dette betyr at den enkelt kan håndtere dramatiske temperatursvingninger uten å sprekke. For eksempel kan smeltet silikakvarts raskt varmes opp til 1100°C og senkes direkte i kaldt vann uten skade, en viktig funksjon i produksjonsforhold med høy stress.

Streng produksjonsprosess: Produksjonsprosessen med smeltede silikapostaler holder strengt til høy kvalitetsstandarder. Produksjonsprosessen bruker varmforming og sveiseprosesser, som vanligvis er fullført i et klasse 10.000 reneromsmiljø. Etterpå rengjøres den smeltede kvartsglass -sokkelen grundig med ultrapure vann (18 MΩ) for å sikre produktrenhet og optimal ytelse. Hvert ferdig produkt blir grundig inspisert, rengjort og pakket i et klasse 1000 eller høyere reneom for å oppfylle de høye standardene i halvlederindustrien.

Høyrent ugjennomsiktig silikakvartsmateriale

VeTeksi ALD Fused Quartz Pedestal bruker ugjennomsiktig kvartsmateriale med høy renhet for å effektivt isolere varme og lys. Dens utmerkede varmeskjermings- og lysskjermingsegenskaper gjør det mulig for den å opprettholde jevn temperaturfordeling i prosesskammeret, noe som sikrer jevnhet og konsistens av tynne.filmavsetningpå waferoverflaten.

Søknadsfelt

Fusede kvartssokler er mye brukt i mange felt av halvlederindustrien på grunn av deres utmerkede ytelse. Iatomic layer deposition (ALD) prosess, støtter den presis kontroll av filmvekst og sikrer fremgang av halvlederenheter. ILavt trykk kjemisk dampavsetning (LPCVD) prosess, Den termiske stabiliteten og lysskjermingsevnen til kvarts -sokkel med høy renhet gir garantier for ensartet avsetning av tynne filmer, og forbedrer dermed ytelsen og utbyttet.

I tillegg, i diffusjonswaferprosessen, sikrer høytemperaturmotstanden og den kjemiske korrosjonsmotstanden til Fused Quartz Pedestal påliteligheten og konsistensen til halvledermaterialets dopingprosess. Disse nøkkelprosessene bestemmer den elektriske ytelsen til halvlederenheter, og høykvalitets Fused Quartz-materialer spiller en uunnværlig rolle for å oppnå de beste resultatene av disse prosessene.

Vetek Semiconductor ALD Fused Quartz Pedestal Shops: